真空計的類型

真(zhēn)空計根據用(yòng)途(tú)，測量方(fāng)法，測量範圍可分(fēn)為(wéi)多種(zhǒng)類型。

1. 按用途(tú)

分壓真空(kōng)
計 選擇(zé)分(fēn)壓(yā)真(zhēn)空計僅測量(liáng)個別(bié)氣(qì)體的真(zhēn)空度。當(dāng)兩(liǎng)種(zhǒng)或多(duō)種(zhǒng)氣體混合在一起(qǐ)時(shí)，每種(zhǒng)氣體所表現出(chū)的壓力(lì)就(jiù)是分壓。

它用於(yú)分(fēn)析真(zhēn)空(kōng)質量，因(yīn)為(wéi)即使在相(xiāng)同壓力下，性(xìng)能也會根據(jù)氣(qì)體(tǐ)類型而有所不同。質譜(pǔ)儀是(shì)一(yī)種(zhǒng)常見的分(fēn)壓真(zhēn)空計。

質譜儀由(yóu)三部(bù)分組成(chéng)：離(lí)子源(yuán)，分析部(bù)分和檢(jiǎn)測(cè)部(bù)分。通過使(shǐ)用(yòng)電場和(hé)磁場(cháng)，可(kě)以(yǐ)通過僅觀(guān)察特定(dìng)離子來確定每(měi)種氣體的壓(yā)力。

當(dāng)您(nín)想簡(jiǎn)單地測(cè)量空間的(dí)真空度(dù)時，請選擇全壓真空計。根據(jù)測量方法的不(bù)同(tóng)，有多種類(lèi)型，因此有必要選擇(zé)一(yī)種適合您的用(yòng)途的(dí)類型(xíng)。

2.測(cè)量方法

測量(liáng)方(fāng)法主(zhǔ)要分(fēn)為三(sān)種(zhǒng)類型(xíng)。這(zhè)些(xiē)是“檢測壓力本身(shēn)的(dí)方法(fǎ)"，“利(lì)用氣體(tǐ)傳輸(shū)現象(xiàng)的方(fāng)法"和“利用氣體中的(dí)電離(lí)現象的(dí)方法"。

本(běn)身檢測壓力(lì)的方法(fǎ)
U型管(guǎn)真(zhēn)空計是利用壓(yā)力本身(shēn)檢(jiǎn)測的真空計。U型真空計是(shì)一種(zhǒng)差壓表，由一端抽真空(kōng)並(bìng)密封的玻(bō)璃U型管製成。

氣(qì)體壓力(lì)差可以從(cóng)壓(yā)力(lì)差引起的液柱(zhù)高度讀(dú)取(qǔ)。U型(xíng)真空(kōng)計的dute之處(chǔ)在於它不屬於氣體(tǐ)類型(xíng)。因此，它被(bèi)用作(zuò)其他(tā)真空(kōng)計的校(xiào)準(zhǔn)標準，因為(wéi)它允許(xǔ)絕(jué)對(duì)測(cè)量壓力。

利用(yòng)氣(qì)體傳輸現象的方(fāng)法(fǎ)
熱傳(chuán)導真空(kōng)計是利(lì)用氣(qì)體(tǐ)傳(chuán)輸現象的真空(kōng)計。這是(shì)利用氣(qì)體的熱導(dǎo)率(shuài)根據壓力而變(biàn)化(huà)的(dí)特(tè)性(xìng)的(dí)真空計(jì)。

熱(rè)傳導真空計有(yǒu)多種(zhǒng)類型(xíng)，包括(kuò)皮(pí)拉尼真空計，熱敏(mǐn)電阻真空(kōng)計和(hé)熱電偶真(zhēn)空計。關於熱傳(chuán)導(dǎo)真(zhēn)空計(jì)需要注(zhù)意(yì)的重要(yào)一(yī)點是，在高真(zhēn)空下，熱輻射的影(yǐng)響變得(dé)大(dà)於(yú)熱傳(chuán)導的(dí)影(yǐng)響。因此(cǐ)，熱導真空計(jì)的(dí)缺點(diǎn)是不(bù)能(néng)用(yòng)於(yú)高真空測(cè)量。

利用氣體中的電(diàn)離現象(xiàng)的方法利(lì)用
氣(qì)體中(zhōng)的 電離(lí)現(xiàn)象的真空(kōng)管包括潘寧真空計(冷(lěng)陰極(jí)電離(lí)真空(kōng)計)和(hé)離子(zǐ)計(熱陰(yīn)極電離真(zhēn)空計)。彭(péng)寧(níng)真空(kōng)計可以(yǐ)利(lì)用真空(kōng)中(zhōng)的放電現(xiàn)象來測量壓力(lì)。雖然具有優(yōu)異的(dí)耐久性(xìng)，但其靈(líng)敏度根(gēn)據氣體(tǐ)種(zhǒng)類的不(bù)同(tóng)而有很大(dà)差異(yì)。

潘(pān)寧真(zhēn)空(kōng)計的(dí)優點是(shì)電路(lù)配置(zhì)簡(jiǎn)單。另一方(fāng)麵，其(qí)缺(quē)點是潘寧(níng)放電不(bù)穩定，難(nán)以高精度(dù)測量。此外(wài)，如(rú)果(guǒ)表(biǎo)麵汙(wū)染(rǎn)嚴重(zhòng)，則從陰極(jí)發(fā)射(shè)的電(diàn)子量會減(jiǎn)少(shǎo)，導致無法(fǎ)放電(diàn)，並且如(rú)果(guǒ)陰極處於高真空(kōng)中，則可(kě)能難以(yǐ)開始放(fàng)電。

3，測量範圍

壓力分為低真空，中(zhōng)真(zhēn)空，高真(zhēn)空，超(chāo)高真(zhēn)空(kōng)等真空度，根(gēn)據真空(kōng)計的類型(xíng)不(bù)同，測量真空度(dù)也不(bù)同(tóng)。根(gēn)據JIS（日(rì)本(běn)工業標準(zhǔn)），真空度根據壓力範圍分為(wéi)如(rú)下(xià)所(suǒ)示的五(wǔ)類(lèi)。皮拉(lā)尼真空(kōng)計(jì)可以測量低真(zhēn)空(kōng)到中真空，電離(lí)真(zhēn)空(kōng)計可以測量(liáng)中(zhōng)真(zhēn)空到(dào)超高真空(kōng)。

• 低真空：10 ⁵ Pa～10 ² Pa

• 中真空(kōng)：10 ² Pa～10 ^-1 Pa

• 高真空：10 ^-1 Pa～10 ^-5 Pa

• 超高真(zhēn)空(kōng)：^-5 Pa至(zhì)1 ^0-8 Pa

• jigao真(zhēn)空：10 ^-8 Pa以下(xià)