測量真空(kōng)壓(yā)力主要(yào)有三種方式(shì)：機械(xiè)現(xiàn)象，氣(qì)體(tǐ)傳輸現象和(hé)氣體電離(lí)現象。

1. 力學現象(xiàng)

利用(yòng)機(jī)械現(xiàn)象進行測量(liáng)可以使用U型(xíng)管壓力計，麥克勞(láo)德(dé)真空(kōng)計(jì)，隔膜真(zhēn)空(kōng)計，波登(dēng)管(guǎn)真空計，重(zhòng)量(liáng)式(shì)真空(kōng)計等。

U型管壓(yā)力(lì)表(biǎo)
這(zhè)是一種帶(dài)有玻璃U型管(guǎn)的差壓(yā)表，其一(yī)側(cè)抽(chōu)真空(kōng)並(bìng)密封。可以(yǐ)從壓(yā)力差引(yǐn)起的液柱(zhù)高度(dù)讀取氣(qì)體(tǐ)中(zhōng)的壓(yā)力(lì)差(chà)，其(qí)du特之處(chǔ)在於不受(shòu)氣體類型的影(yǐng)響。這(zhè)使得可以(yǐ)測量(liáng)壓力的絕對(duì)值(zhí)。

McLeod真空計(jì)
一種(zhǒng)水銀(yín)液柱(zhù)壓力計(jì)，用(yòng)於測(cè)量高真空(kōng)壓力。它(tā)具有壓縮氣(qì)體(tǐ)並擴(kuò)大其(qí)壓力的(dí)機製，從而可以(yǐ)測(cè)量絕對(duì)壓力。

隔膜真(zhēn)空計(jì) 這
是(shì)一種通過(guò)機械，光(guāng)學和(hé)電學(xué)方式(shì)讀取隔(gé)膜壓力(lì)引(yǐn)起(qǐ)的變形(xíng)量(liáng)的方(fāng)法(fǎ)。

2. 氣體輸(shū)送現(xiàn)象(xiàng)

熱(rè)傳導真空計(jì)是(shì)利用氣體傳輸(shū)現象的(dí)真(zhēn)空壓力(lì)表(biǎo)。它利用了氣體(tǐ)的(dí)熱導(dǎo)率隨壓力(lì)而(ér)變化的(dí)特性(xìng)。

熱(rè)傳(chuán)導(dǎo)真空(kōng)計的(dí)種類很多(duō)，如(rú)皮拉尼(ní)真空計(jì)，熱敏(mǐn)電阻(zǔ)真空計(jì)，熱電偶(ǒu)真空計等(děng)。關於熱傳導真空(kōng)計需要注意的重(zhòng)要(yào)一點(diǎn)是，在(zài)高真(zhēn)空下，熱輻(fú)射的影響變得大於(yú)熱(rè)傳導(dǎo)的影響。因此，熱導真空計的缺點是(shì)不能用(yòng)於高真空測(cè)量。

皮拉尼真(zhēn)空(kōng)計是一種檢測(cè)電(diàn)阻變化的測量(liáng)儀器(qì)。在該方法中，電流通過細鉑電(diàn)阻絲，電橋(qiáo)電路(lù)檢測(cè)由(yóu)於氣體分(fēn)子碰撞(zhuàng)帶走熱量而(ér)引起的鉑(bó)電(diàn)阻(zǔ)的變(biàn)化。

3，氣體電離(lí)現象(xiàng)

該(gāi)方法(fǎ)利(lì)用(yòng)氣體的(dí)電離(lí)現(xiàn)象來(lái)測(cè)量(liáng)真空(kōng)度(dù)。有(yǒu)熱(rè)陰極電(diàn)離真空計(jì)，冷陰極(jí)電離(lí)真空計，輻(fú)射真(zhēn)空計(jì)等多種(zhǒng)類型。

熱(rè)陰(yīn)極電離(lí)真(zhēn)空(kōng)計
通過從(cóng)熱陰極(jí)發(fā)射熱(rè)電子來電(diàn)離氣(qì)體(tǐ)並(bìng)測量產生的離子。

冷陰極電(diàn)離真空計
通(tōng)過冷陰極放電(diàn)使氣(qì)體電(diàn)離(lí)並測量離子的(dí)方法。

輻射真(zhēn)空(kōng)計(jì)
測量輻射產(chǎn)生(shēng)的離子。