表(biǎo)壓型壓力傳感(gǎn)器通(tōng)過檢測膜片變(biàn)形(xíng)來(lái)測(cè)量(liáng)壓力。檢測方(fāng)法有(yǒu)多種類型，包括(kuò)半導(dǎo)體計(jì)式(shì)
，應(yīng)變(biàn)計(jì)式(shì)
，金屬薄膜(mó)式。

膜片表麵(miàn)放(fàng)置四個(gè)計(jì)量電阻，當膜(mó)片(piàn)因(yīn)壓力而(ér)變(biàn)形(xíng)時，電阻值會發(fā)生變(biàn)化。四(sì)個測(cè)量(liáng)電阻組裝(zhuāng)成橋(qiáo)式(shì)電(diàn)路，電(diàn)阻的變(biàn)化(huà)作為電(diàn)壓輸出。

1.半導體(tǐ)表壓(yā)傳(chuán)感器

半(bàn)導體表(biǎo)壓傳(chuán)感(gǎn)器使(shǐ)用半導體(tǐ)本身作(zuò)為隔(gé)膜，並利(lì)用(yòng)壓電效(xiào)應測(cè)量壓力(lì)，壓(yā)電(diàn)效(xiào)應(yīng)是半導(dǎo)體(tǐ)受到壓(yā)力時(shí)電(diàn)阻(zǔ)發(fā)生變(biàn)化(huà)的(dí)特性。抗壓變(biàn)化比其他方(fāng)法(fǎ)大得多，從(cóng)而可以(yǐ)製造堅固的隔(gé)膜，使設(shè)備(bèi)高(gāo)度耐用(yòng)。

2.應變(biàn)式(shì)壓力傳(chuán)感器

應(yīng)變計壓力傳(chuán)感(gǎn)器通過將應(yīng)變(biàn)計連(lián)接(jiē)到隔(gé)膜背(bèi)麵來測量(liáng)應變(biàn)計電阻的(dí)變(biàn)化。應(yīng)變片是利用(yòng)金(jīn)屬變(biàn)形時電阻(zǔ)發生變化(huà)的特性來測(cè)量(liáng)應變(biàn)，並通(tōng)過(guò)應(yīng)變與壓力匹(pǐ)配來輸出壓力的(dí)裝置。

3.金屬薄膜壓力傳感(gǎn)器

金屬薄膜(mó)壓力(lì)傳(chuán)感(gǎn)器(qì)通(tōng)過在隔膜(mó)上(shàng)形(xíng)成金(jīn)屬(shǔ)薄膜(mó)並測(cè)量因(yīn)壓(yā)力而變形的金屬薄膜的電阻(zǔ)變(biàn)化(huà)來測量(liáng)壓力(lì)。其特點是比應變片(piàn)式靈敏度更高，可(kě)以在高溫下使用(yòng)。

4.表(biǎo)壓(yā)型(xíng)以(yǐ)外的(dí)壓力傳感器(qì)

除(chú)表(biǎo)壓式壓力傳(chuán)感(gǎn)器外(wài)，還(huán)有電(diàn)容(róng)式
，光纖(xiān)式
，振(zhèn)動(dòng)式壓(yā)力傳(chuán)感器(qì)。

電容法(fǎ)檢測固定電(diàn)極和隔膜電極之(zhī)間(jiān)的(dí)電容(róng)。隔膜(mó)的位(wèi)移會隨(suí)著壓(yā)力的(dí)變化(huà)而變形(xíng)，通過電(diàn)容(róng)的變(biàn)化(huà)來測量(liáng)並轉換(huàn)為壓力。適(shì)用於測(cè)量(liáng)多種氣(qì)體或混合氣(qì)體(tǐ)的(dí)壓力。

在光(guāng)纖型中(zhōng)，當(dāng)對(duì)膜片施加壓(yā)力時(shí)，光纖(xiān)的衍射光(guāng)柵(zhà)發(fā)生(shēng)變形，並測(cè)量(liáng)反(fǎn)射(shè)光(guāng)的(dí)波長的變化。它(tā)可以(yǐ)測量高溫和高精度，用於(yú)測(cè)量(liáng)熔(róng)融(róng)樹脂的壓(yā)力(lì)和體內的血壓。

振動(dòng)型(xíng)的振(zhèn)動(dòng)器(qì)安(ān)裝在(zài)矽(guī)膜片芯(xīn)片(piàn)上，當膜(mó)片因壓(yā)力而(ér)變(biàn)形時(shí)，振動器的固(gù)有頻(pín)率會發生(shēng)變(biàn)化。檢(jiǎn)測(cè)振動(dòng)頻(pín)率的變化並(bìng)將其轉(zhuǎn)換為壓(yā)力。具(jù)有高精(jīng)度(dù)
，高靈(líng)敏(mǐn)度(dù)
，高分辨率(shuài)等特(tè)點(diǎn)。