UV臭(chòu)氧(yǎng)清洗是通過(guò)照射能量(liáng)比作為汙染(rǎn)物的有機化合物的結(jié)合能更強的(dí)紫外綫來(lái)分解有(yǒu)機(jī)化(huà)合物的清洗方法(fǎ)。

在大氣(qì)（含氧(yǎng)的(dí)環(huán)境(jìng)氣體(tǐ)）中，通過紫(zǐ)外綫照射產(chǎn)生(shēng)臭(chòu)氧（O3）和(hé)激發態(tài)活性(xìng)氧（O）。
活(huó)性氧具有(yǒu)的氧化(huà)能力(lì)，會立即(jí)與未(wèi)結(jié)合的(dí)有機(jī)化(huà)合物發(fā)生氧(yǎng)化(huà)反(fǎn)應。這(zhè)會(huì)產生簡單的分子，如(rú) CO2，H2O 和(hé) O2，它(tā)們從(cóng)表麵(miàn)蒸(zhēng)發，同(tóng)時去除（清潔）有機(jī)物質。

與使用清洗(xǐ)液的濕(shī)式(shì)清(qīng)洗(xǐ)不同，UV臭氧清洗可以減少(shǎo)對環境(jìng)的影(yǐng)響(xiǎng)，並(bìng)且(qiě)不會像使用放電(diàn)的等離(lí)子清洗那(nà)樣對工(gōng)件造(zào)成(chéng)熱量(liáng)或(huò)靜電損壞(huài)，具有以(yǐ)下特點。