我們將解釋(shì)曝光設(shè)備的測(cè)量(liáng)原理。曝(pù)光設備由光源(yuán)
，偏(piān)光鏡(jìng)
，光(guāng)掩模
，聚光(guāng)鏡
，工(gōng)作台(tái)
，傳(chuán)送矽片(piàn)的機(jī)械手(shǒu)等組成(chéng)。

鏡(jìng)頭和光掩(yǎn)模的(dí)設(shè)計精度高(gāo)，平(píng)台的(dí)運行精度也(yě)很(hěn)高(gāo)。操作(zuò)過程(chéng)中(zhōng)，曝(pù)光目標(biāo)精確(què)固定在載(zǎi)物台(tái)上(shàng)。在(zài)操作(zuò)中，每(měi)次曝光時(shí)載(zǎi)物(wù)台(tái)都會(huì)移動(dòng)，在(zài)曝光的物(wù)體(tǐ)上(shàng)創(chuàng)建(jiàn)大量圖案。

從(cóng)光(guāng)源(yuán)發出短波長(cháng)的強光(guāng)，偏(piān)光透鏡(jìng)調整光(guāng)的方向，然(rán)後(hòu)照(zhào)射到(dào)光(guāng)掩模上，光掩(yǎn)模是配置電(diàn)路圖案(àn)的原(yuán)型(xíng)。穿過光(guāng)掩(yǎn)模(mó)的(dí)光被(bèi)聚(jù)光透(tòu)鏡聚焦(jiāo)，並(bìng)在(zài)曝(pù)光的目標上描繪(huì)出(chū)非(fēi)常小(xiǎo)的(dí)電(diàn)路(lù)圖案(àn)。

一旦(dàn)整(zhěng)個(gè)曝光(guāng)目(mù)標被曝光，它就(jiù)會被機(jī)器人或(huò)其他(tā)設備(bèi)運輸。根據產品的(dí)不(bù)同(tóng)，曝光目(mù)標(biāo)會(huì)滲(shèn)透(tòu)到(dào)液體中(zhōng)，有些產品(pǐn)的設計旨在(zài)實現更(gēng)準(zhǔn)確的(dí)曝光。