利用壓阻效應原理(lǐ)，采(cǎi)用(yòng)三(sān)維(wéi)集成(chéng)電路工藝技(jì)術及(jí)一些(xiē)專用(yòng)特(tè)殊(shū)工(gōng)藝，在單(dān)晶矽片上(shàng)的特(tè)定(dìng)晶(jīng)向，製成應(yīng)變電(diàn)阻(zǔ)構成的惠(huì)斯(sī)頓檢測電橋(qiáo)，並(bìng)同(tóng)時(shí)利(lì)用矽(guī)的彈性力學(xué)特性，在同(tóng)一(yī)矽片上進(jìn)行特殊的機(jī)械(xiè)加工(gōng)，集應力(lì)敏感與力電(diàn)轉(zhuǎn)換檢測(cè)於(yú)一體的這種力學(xué)量(liáng)傳感器，稱為固(gù)態(tài)壓阻(zǔ)傳(chuán)感器。以(yǐ)氣，液(yè)體(tǐ)壓(yā)強為(wéi)檢測(cè)對象(xiàng)的則(zé)稱(chēng)為固(gù)態壓阻(zǔ)壓(yā)力傳(chuán)感器，目前(qián)，在(zài)以大(dà)規(guī)模(mó)集(jí)成電(diàn)路技術和(hé)計算(suàn)機軟件(jiàn)技(jì)術(shù)介(jiè)入(rù)為(wéi)特(tè)色的(dí)智(zhì)能傳感(gǎn)器技術中，由(yóu)於固態壓(yā)阻(zǔ)壓(yā)力(lì)傳感器能(néng)做成單(dān)片式多功能復合敏感(gǎn)元(yuán)件(jiàn)來(lái)構成智能傳感(gǎn)器(qì)的(dí)基礎，因此，固(gù)態(tài)壓阻壓力傳感(gǎn)器仍然(rán)受矚目。
固態壓阻壓力傳(chuán)感(gǎn)器主(zhǔ)要特點：
1，靈敏(mǐn)度高
    矽應變(biàn)電阻的靈敏因(yīn)子比金屬(shǔ)應變(biàn)片高50～100倍(bèi)，故(gù)相(xiāng)應的傳感器靈敏(mǐn)度很高，一(yī)般(bān)滿(mǎn)量程(chéng)輸出(chū)為(wéi)100mv左右。因(yīn)此(cǐ)對接口電路無(wú)特(tè)殊要求，應用成本相(xiāng)應(yīng)較(jiào)低(dī)。由於(yú)它是(shì)一種(zhǒng)非機械結構傳(chuán)感器，因而分(fēn)辨率高，國外稱之(zhī)無限，即主要受限於(yú)外界的檢測讀(dú)出儀(yí)表限製(zhì)及噪聲(shēng)幹擾(rǎo)限(xiàn)製，一般均(jūn)可達傳感(gǎn)器滿(mǎn)量(liáng)程(chéng)的(dí)十(shí)萬(wàn)分之一以下(xià)。矽壓阻傳(chuán)感器(qì)在(zài)零點附(fù)近(jìn)的低量程段(duàn)無死(sǐ)區，且(qiě)綫(xiàn)性(xìng)優良。
2，精度高(gāo)
    由於固(gù)態(tài)壓阻(zǔ)壓力(lì)傳感(gǎn)器(qì)的(dí)感受，敏(mǐn)感轉換(huàn)和(hé)檢測三部分由同(tóng)一(yī)個元件(jiàn)實現，沒(méi)有中(zhōng)間轉換(huàn)環節(jié)，所(suǒ)以不重復(fù)性(xìng)和遲滯誤差極(jí)小。同(tóng)時由於矽單晶(jīng)本(běn)身剛度很大，形變(biàn)很小，保(bǎo)證了(liǎo)良(liáng)好(hǎo)的(dí)綫性(xìng)，因此綜合(hé)靜(jìng)態(tài)精(jīng)度(dù)很(hěn)高。
3，體積小，重量輕(qīng)，動(dòng)態頻響高
    由於芯(xīn)體(tǐ)采(cǎi)用集(jí)成(chéng)工(gōng)藝，又無傳(chuán)動部件，因(yīn)此體(tǐ)積小，重量輕(qīng)。小(xiǎo)尺寸芯(xīn)片加上矽(guī)高的(dí)彈(dàn)性模數(shù)，敏感元件的固(gù)有(yǒu)頻率很高(gāo)。在動態應用時，動(dòng)態(tài)精度高，使用頻帶寬，合(hé)理(lǐ)選(xuǎn)擇(zé)設(shè)計(jì)壓力傳感器外型，使用帶寬可(kě)以從(cóng)零(líng)頻至(zhì)100千(qiān)赫茲。
4，性能(néng)穩(wěn)定(dìng)，可(kě)靠性(xìng)高
    由於工(gōng)作彈性形變低(dī)至(zhì)微應變數量級，彈(dàn)性薄(báo)膜最大位(wèi)移在(zài)亞微米(mǐ)數(shù)量級，因(yīn)而無(wú)磨損(sǔn)，無疲勞，無(wú)老化。壽命(mìng)長達107壓(yā)力循環次以上。
5，溫(wēn)度係(xì)數小(xiǎo)
    由(yóu)於(yú)微電(diàn)子技術的進步(bù)，四(sì)個應變(biàn)電阻的一致(zhì)性可(kě)做的很高(gāo)，加(jiā)之激光(guāng)修調(tiáo)技術，計算機自(zì)動補(bǔ)償技(jì)術的(dí)進步，目前(qián)矽壓(yā)阻壓(yā)力(lì)傳感器(qì)的零位與靈(líng)敏度溫度係(xì)數(shù)已可達10-5/℃數(shù)量級(jí),即在壓力傳(chuán)感器(qì)領(lǐng)域(yù)已(yǐ)超過(guò)溫度(dù)係數(shù)小(xiǎo)的應變式壓力傳(chuán)感器的水平(píng)。
6，適應介(jiè)質廣
    由(yóu)於(yú)矽的優良化學(xué)防腐(fǔ)性能，與(yǔ)矽油的良好(hǎo)可(kě)兼容性，使得隔(gé)離式(shì)結(jié)構(gòu)易於實現，即(jí)使(shǐ)非隔離(lí)型(xíng)的壓(yā)阻壓(yā)力傳感器，也(yě)有(yǒu)相當程(chéng)度的(dí)適應(yīng)各(gè)種介質的能力(lì)。
7，安全(quán)防(fáng)爆
    由於(yú)其低電壓，低(dī)電流(liú)的低功(gōng)耗特點，它(tā)是(shì)本質安全(quán)防爆型(xíng)產品(pǐn)，可(kě)廣(guǎng)泛(fàn)用(yòng)於各種化工工業檢測控製(zhì)等(děng)領域，具有優(yōu)性價比。