隨著固(gù)體物理(lǐ)學(xué)的發(fā)展(zhǎn)，固(gù)體的各種效應逐漸(jiàn)被人們(mén)所發現。固(gù)體受(shòu)到(dào)力(lì)的(dí)作(zuò)用後(hòu)，電阻(zǔ)率將發(fā)生顯著的變(biàn)化(huà)這種效(xiào)應(yīng)稱為壓阻(zǔ)效應。壓阻(zǔ)式(shì)傳感器(qì)就是利用(yòng)這種效(xiào)應(yīng)製(zhì)成的。壓(yā)阻式(shì)傳感器(qì)主(zhǔ)要(yào)用於測量力(lì)，壓(yā)力
，加速(sù)度
，載(zǎi)荷(hé)和扭(niǔ)矩等參(cān)量。
    矽晶(jīng)體(tǐ)有良(liáng)好(hǎo)的彈性(xìng)形變(biàn)性能和顯(xiǎn)著(zhù)的壓阻(zǔ)效應，利(lì)用矽的壓阻效應(yīng)和集成電路技(jì)術(shù)製版的傳感器，具有靈敏度高
，動態響(xiǎng)應快
，測(cè)量(liáng)精度高(gāo)
，穩(wěn)定性(xìng)好(hǎo)
，工(gōng)作溫(wēn)度範圍寬(kuān)
，易(yì)於(yú)小型(xíng)化和(hé)批(pī)量生產(chǎn)及(jí)使用(yòng)方便等特點。因而是一(yī)種(zhǒng)應用日(rì)益(yì)廣泛
，發展非(fēi)常迅(xùn)速的傳(chuán)感器。早(zǎo)期的矽壓力傳感器稱為(wéi)體型(xíng)壓力傳感器(又(yòu)稱(chēng)半導體(tǐ)應(yīng)變片(piàn)式(shì)壓力傳(chuán)感(gǎn)器(qì))。它(tā)的應(yīng)變片是(shì)采用單晶矽(guī)在生產(chǎn)過程(chéng)中(zhōng)接入雜(zá)質(zhì)硼，形成具(jù)有一(yī)定(dìng)電(diàn)阻率(shuài)的晶(jīng)體，然後將單品(pǐn)矽切割(gē)加(jiā)工(gōng)成(chéng)薄(báo)片矩形條，粘貼在金屬或(huò)其(qí)它(tā)材料製(zhì)成的彈(dàn)性(xìng)元(yuán)件(jiàn)上(shàng)，構成半橋或全橋(qiáo)電(diàn)路(lù)。當彈(dàn)性體(tǐ)承受壓力後(hòu)，產(chǎn)生應力(lì)，使(shǐ)矽片(piàn)受(shòu)到(dào)壓(yā)縮或拉(lā)伸，矽(guī)的電阻率(shuài)發(fā)
生(shēng)變(biàn)化，產(chǎn)生(shēng)正比於力(lì)的電(diàn)壓信(xìn)號(hào)輸山，測(cè)定電壓(yā)大(dà)小就可確(què)定力的大(dà)小。這種半(bàn)導體(tǐ)應變(biàn)片(piàn)式力傳感(gǎn)器，後來(lái)發展(zhǎn)成在N型矽單(dān)晶片上選擇適(shì)當位(wèi)置(zhì)，通過擴散(sàn)製(zhì)成(chéng)厚度(dù)極(jí)薄(báo)的(dí)P型矽(guī)應變電阻條(tiáo)。P型(xíng)矽應(yīng)變(biàn)電阻條(tiáo)與N型(xíng)矽(guī)單晶基片(膜(mó)片)之間(jiān)構成(chéng)PN結(jié)，反向(xiàng)偏(piān)置後，可使(shǐ)P型矽應(yīng)變(biàn)電阻條與N型矽基(jī)片形(xíng)成(chéng)絕緣(yuán)。把(bǎ)製成的(dí)P型矽應變電阻條連接(jiē)成惠(huì)斯(sī)頓電橋，這就是壓(yā)阻式傳感器的(dí)芯(xīn)片。把芯片(piàn)粘(nián)貼在(zài)彈性(xìng)元件(jiàn)上，汽壓力(lì)作(zuò)用(yòng)於(yú)彈(dàn)性元(yuán)件時，芯片(piàn)上的(dí)電橋在壓力作用(yòng)下出現(xiàn)不平衡，輸(shū)出(chū)一正比(bǐ)於壓(yā)力(lì)變化的(dí)電(diàn)壓(yā)信(xìn)號。這(zhè)種(zhǒng)壓阻(zǔ)式(shì)傳感器，由於采用了(liǎo)粘片結(jié)構，所(suǒ)以(yǐ)存在著(zhuó)較大(dà)的(dí)滯後(hòu)和(hé)蠕(rú)變現像，並具(jù)有固有頻率(shuài)較倔(jué)
，稻皮(pí)不(bù)夠(gòu)高
，小(xiǎo)型(xíng)化集(jí)成(chéng)化有困難等(děng)問(wèn)題(tí)，因此影響了(liǎo)它(tā)的使(shǐ)用(yòng)和發展(zhǎn)。
    70年(nián)代，采(cǎi)用集成(chéng)電路技(jì)術製造(zào)壓(yā)阻式傳(chuán)感(gǎn)器獲(huò)得(dé)了極大(dà)的發展。製(zhì)成(chéng)了(liǎo)周邊(biān)固(gù)支(zhī)的電(diàn)阻與矽(guī)膜片一(yī)體(tǐ)化的矽杯(bēi)式擴(kuò)散(sàn)型壓阻式傳感器(qì)。它克(kè)服(fú)了(liǎo)上述壓(yā)阻式傳(chuán)感(gǎn)器的(dí)問(wèn)題，其性能(néng)優良(liáng)，易(yì)於(yú)小型(xíng)化(huà)和批(pī)量生(shēng)產(chǎn)，而且能把(bǎ)應變(biàn)電阻條(tiáo)
，補(bǔ)償綫路(lù)
，信號調整，甚至能(néng)將(jiāng)計算處(chǔ)理電路集(jí)成在一塊(kuài)矽(guī)片上，製成(chéng)智能傳(chuán)感(gǎn)器，這使壓(yā)阻(zǔ)式傳(chuán)感(gǎn)器獲得了更廣泛的應(yīng)用，成為人們(mén)更為(wéi)重視(shì)的(dí)一種新(xīn)型傳(chuán)感(gǎn)器。