用於(yú)液體(tǐ)或氣體等被測(cè)介質(zhì)的壓力與(yǔ)溫度(dù)的(dí)同點測量(liáng)，在宇(yǔ)宙(zhòu)飛船(chuán)，飛機，高(gāo)速列車(chē)，箭（dao彈），核反應堆等特殊測量環境下，測(cè)量的可(kě)靠性(xìng)要求是(shì)十分(fēn)重要和(hé)必須的(dí)
。但是現(xiàn)有(yǒu)傳(chuán)感器不僅(jǐn)在(zài)製作(zuò)精度(dù)上(shàng)，而更(gēng)重要的(dí)是(shì)在(zài)大(dà)加速(sù)度，高溫(wēn)，強輻射(shè)，強振動(dòng)等(děng)惡(è)劣條件下，遠遠滿足不了測量可靠(kào)性(xìng)的要求
。很多專(zhuān)業(yè)人員(yuán)，一生都在尋(xún)求wan美的(dí)解決(jué)前述問(wèn)題的(dí)方法(fǎ)
。好在目前世(shì)界(jiè)上，高純(chún)的(dí)三(sān)氧化(huà)二鋁(lǚ)（Al2O3）γ單晶體，即莫(mò)氏(shì)硬(yìng)度達(dá)9.0，響(xiǎng)應頻率(shuài)達(dá)5×1018Hz的藍寶(bǎo)石單(dān)晶體，已成(chéng)為製(zhì)造力敏和(hé)熱(rè)敏傳感(gǎn)器比較(jiào)理想(xiǎng)和(hé)幾近wan美(měi)的高彈性(xìng)高溫(wēn)晶體(tǐ)
。它(tā)可以(yǐ)外延生(shēng)長出單晶(jīng)矽，又極(jí)易(yì)同鈦，鉑等(děng)金屬親和，並且其熱膨(péng)脹係數在(zài)-196℃～400℃溫區(qū)內(nèi)，同鈦及絕大(dà)數(shù)鈦(tài)合金(jīn)非常匹(pǐ)配(pèi)
。這(zhè)給製作傳(chuán)感(gǎn)器(qì)的高(gāo)標準(zhǔn)封接(jiē)操作帶(dài)來(lái)了方便
。但在結(jié)構設計及工藝製(zhì)作方(fāng)麵仍存在很多難題(tí)和困(kùn)難(nán)
。

　　針對現有(yǒu)矽(guī)藍寶(bǎo)石(shí)力(lì)敏(mǐn)傳感器(qì)的加(jiā)工工藝(yì)比較復雜(zá)等(děng)難以(yǐ)克服的(dí)問題(tí)，利(lì)用(yòng)現(xiàn)代(dài)加工手(shǒu)段(duàn)和(hé)新的(dí)思維(wéi)方(fāng)法，用(yòng)它製造出了適用於高(gāo)溫測量(liáng)的(dí)矽藍寶(bǎo)石力敏(mǐn)傳感器(qì)，該製(zhì)作工藝(yì)是(shì)將(jiāng)外延(yán)生長有單(dān)晶矽膜(mó)的藍寶(bǎo)石(shí)晶(jīng)片(piàn)，用(yòng)靜電封接或用(yòng)分子(zǐ)鍵方法，封(fēng)接到鈦合(hé)金應(yīng)力(lì)杯(bēi)上(shàng)，以鈦(tài)合金應力杯對稱中心為基(jī)準，激光刻出(chū)矽應(yīng)變電阻(zǔ)，在矽(guī)應變(biàn)電阻(zǔ)的(dí)鉑(bó)金盤上用金屬彈(dàn)性(xìng)觸(chù)頭(tóu)連接引綫，進(jìn)行(háng)封裝連(lián)接外引綫，使(shǐ)該傳(chuán)感器適用溫度達(dá)-196℃～400℃
。

    這種(zhǒng)傳感器(qì)雖解(jiě)決了耐(nài)溫等問題，但“觸(chù)頭"在強振(zhèn)動(dòng)和(hé)大(dà)加速度下(xià)，容(róng)易磨損(sǔn)和(hé)失(shī)效
。同時(shí)也(yě)解決(jué)不了(liǎo)壓(yā)力與溫度的(dí)同(tóng)點測(cè)量問(wèn)題
。為解(jiě)決同(tóng)點測(cè)量(liáng)問(wèn)題，人們(mén)試圖(tú)將(jiāng)壓(yā)力(lì)傳感(gǎn)器與(yǔ)溫度傳(chuán)感(gǎn)器進行合(hé)並捆(kǔn)綁，如將(jiāng)Pt100鉑溫(wēn)度(dù)傳感器(qì)與(yǔ)壓(yā)力(lì)傳感器(qì)捆綁到(dào)一起(qǐ)
。但其存在以下(xià)問(wèn)題(tí)
：體積(jī)大，占(zhān)用(yòng)空間多；結(jié)構(gòu)不(bù)緊(jǐn)湊(còu)，測溫(wēn)與測壓(yā)點(diǎn)分離；測(cè)溫(wēn)原(yuán)件(jiàn)與(yǔ)測(cè)點存有間隙，測溫(wēn)易(yì)滯(zhì)後或(huò)測(cè)不(bù)準
。如(rú)果加膠(jiāo)等(děng)介質(zhì)粘住溫度(dù)傳感(gǎn)器，又(yòu)會(huì)帶(dài)來(lái)漏(lòu)電，特別(bié)是高溫(wēn)漏電，還(huán)存在溫度係(xì)數(shù)不匹(pǐ)配，有失效的可(kě)能；引(yǐn)綫很(hěn)難處(chǔ)理，一般不抗(kàng)振(zhèn)和(hé)不抗(kàng)大加(jiā)速度；適(shì)應溫(wēn)度(dù)不夠(gòu)；絕緣問題(tí)不(bù)好解決，外(wài)引綫不好(hǎo)固(gù)定，抗振(zhèn)強(qiáng)度(dù)不夠等等(děng)
。因此(cǐ)，現有傳感器(qì)遠(yuǎn)遠滿足不了同點測量(liáng)和(hé)在惡劣(liè)條(tiáo)件(jiàn)下(xià)測量(liáng)的(dí)高(gāo)可(kě)靠性(xìng)要(yào)求
。