幹(gān)式(shì)真(zhēn)空泵冷卻(què)係統維護(hù)（分風冷 EV‑SA/EV‑A/EV‑X
，水(shuǐ)冷(lěng) EV‑M/EST/ESA 兩大機型，荏(rěn)原現(xiàn)場(cháng)標準維保）

一(yī)
，風冷(lěng)型（EV‑SA
，EV‑A
，小(xiǎo)型 EV‑X，電鍍
，實驗室配(pèi)套(tào)主(zhǔ)力）

1. 日常點(diǎn)檢(jiǎn)（每周）

1. 散熱過濾網(wǎng)：拆(chāi)下吹(chuī)掃(sǎo)粉塵
   ，纖維，環境多酸鹼霧氣(qì)每 3～5 天(tiān)清(qīng)理；濾(lǜ)網堵(dǔ)塞→風量下(xià)降(jiàng)
   ，泵(bèng)體升溫
   ，真(zhēn)空(kōng)變差。

2. 冷(lěng)卻風扇：查看(kàn)運(yùn)轉無異(yì)響
   ，無卡頓(dùn)；風扇老化(huà)風量衰(shuāi)減，泵(bèng)溫(wēn)升＞40℃效率(shuài)下(xià)降(jiàng)。

3. 泵外(wài)殼散(sàn)熱翅片：壓縮(suō)空氣(qì)吹除積灰
   ，結(jié)晶油汙；電(diàn)鍍酸霧環境翅片易沾腐(fǔ)蝕結(jié)晶。

2. 月度保(bǎo)養

1. 檢(jiǎn)查(chá)風扇固定(dìng)螺絲(sī)
   ，電源綫；軸承(chéng)異響(xiǎng)直(zhí)接更換散(sàn)熱風機(jī)。

2. 設(shè)備(bèi)周邊(biān)預留≥15cm 通風(fēng)空(kōng)間(jiān)，不要密閉包裹(guǒ)
   ，不要(yào)靠牆(qiáng)堆放。

3. 異常處置

二
，水冷型（EV‑M 羅茨(cí)
，EST/ESA 螺(luó)杆，半導體刻蝕
，MOCVD 機型）

1. 冷卻(què)水(shuǐ)水質要(yào)求(qiú)（關鍵）

• 優先(xiān)軟水(shuǐ) / 去離(lí)子(zǐ)水(shuǐ)，禁止自來(lái)水(shuǐ)長(cháng)期直(zhí)供（水垢堵水道(dào)）；

• 進(jìn)水標準(zhǔn)：水溫 **≤25～28℃**
  ，進水壓力 0.2～0.4MPa，原廠規(guī)範(fàn)。

2. 日常巡檢(jiǎn)（每日）

1. 進出(chū)水溫差(chà)：正常 3～6℃；溫差(chà)驟(zhòu)變小(xiǎo) = 水(shuǐ)路堵(dǔ)塞。

2. 查看(kàn)管路有無滲(shèn)漏
   ，閥(fá)門(mén)滴(dī)水(shuǐ)；回(huí)水(shuǐ)目視(shì)水流連(lián)續無斷流。

3. 冷卻(què)水塔 / 循環水(shuǐ)箱：液(yè)位充(chōng)足
   ，無藻(zǎo)類
   ，油汙(wū)漂浮(fú)。

3. 月度(dù)維護

1. 過濾器(qì)濾(lǜ)芯(xīn)清(qīng)洗(xǐ) / 更換，水路前(qián)置 Y 型過濾(lǜ)器(qì)必拆(chāi)洗(xǐ)。

2. 管(guǎn)路排(pái)氣(qì)：排(pái)空(kōng)水(shuǐ)冷(lěng)夾套內部積氣(qì)，氣(qì)堵(dǔ)會(huì)局部過熱。

4. 季度深度保養（6 個月一(yī)次(cì)，重腐蝕(shí)工(gōng)況 3 個月(yuè)）

1. 水路酸(suān)洗(xǐ)除垢：檸(níng)檬酸循(xún)環清洗泵體冷卻夾套水垢，水垢附著換(huàn)熱(rè)效率暴跌(diē) 30% 以上。

2. 檢查(chá)冷卻(què)盤管(guǎn)內(nèi)壁(bì)腐(fǔ)蝕，酸(suān)鹼廢氣(qì)工(gōng)況(kuàng)冷卻水(shuǐ)易滲入(rù)腐蝕夾層(céng)。

5. 冬季(jì)防凍

三(sān)
，共(gòng)用(yòng)故障判(pàn)斷

1. 泵(bèng)溫(wēn)偏(piān)高
   ，極限真空(kōng)變差(chà)
   ，電(diàn)流變(biàn)大 → 冷卻失效(xiào)；

2. 水冷出水溫度異常(cháng)偏高：堵(dǔ)水(shuǐ)
   ，水(shuǐ)量不足；

3. 風(fēng)冷機身燙手(shǒu)：濾網堵
   ，風扇損(sǔn)壞。