1. 純(chún)渦輪分(fēn)子泵(bèng)：隻(zhī)有(yǒu)多級(jí)動 / 靜渦輪葉片(piàn)，抽速大，但(dàn)排(pái)氣側壓縮比低(dī)，前(qián)級壓力(lì)稍(shāo)高就(jiù)會氣體(tǐ)逆流；

2. 純(chún)牽引分子(zǐ)泵(bèng)：螺(luó)旋槽(cáo) / 盤式溝(gōu)槽轉(zhuǎn)子(zǐ)，壓縮比ji高(gāo)，但(dàn)抽(chōu)速很(hěn)小；

3. 復合分子(zǐ)泵：進(jìn)氣端渦輪級(jí)負(fù)責大抽(chōu)速，排氣端串聯牽(qiān)引(yǐn)螺(luó)旋槽級(jí)負(fù)責高壓(yā)壓縮，一(yī)體成型(xíng)。

二(èr)，內部結(jié)構

1. 渦輪段（進(jìn)氣側(cè)）

   多(duō)級傾斜(xié)動葉(yè)片 + 固(gù)定(dìng)靜葉片(piàn)，高速(sù)拍(pāi)打氣體分(fēn)子，把(bǎ)腔體(tǐ)氣(qì)體快速往後方(fāng)輸(shū)送(sòng)，主打(dǎ)大(dà)抽速，適配分子流(liú)稀薄(báo)氣體環境。

2. 牽引(yǐn)段（排氣(qì)側(cè)，核心復合結構）

   轉子開螺旋牽(qiān)引溝槽（筒(tǒng)式(shì) / 盤(pán)式兩(liǎng)種），對已(yǐ)經壓縮後(hòu)的氣(qì)體再次(cì)增(zēng)壓，大幅提升壓縮(suō)比，允許更高前級(jí)背(bèi)壓，減少(shǎo)氣(qì)體(tǐ)返流。

3. 配套(tào)部(bù)件(jiàn)：高速電(diàn)機，軸承（滾珠 / 陶瓷(cí) / 磁(cí)懸(xuán)浮(fú)），水(shuǐ)冷散(sàn)熱，驅(qū)動控(kòng)製器，前(qián)級(jí)排(pái)氣(qì)口(kǒu)。

三(sān)，工作原理(lǐ)

1. 前級(jí)泵（旋(xuán)片泵，幹式(shì)渦(wō)旋泵）先(xiān)把(bǎ)真空(kōng)腔體預(yù)抽至(zhì) 1Pa 左右；

2. 復(fù)合分(fēn)子(zǐ)泵轉子高速旋轉，進氣渦(wō)輪葉(yè)片撞擊氣體分(fēn)子(zǐ)，賦予(yú)分子向排氣口運動的定(dìng)向(xiàng)動(dòng)量；

3. 氣體(tǐ)進入(rù)後端螺旋牽引(yǐn)槽，溝槽(cáo)持續對氣體二次(cì)壓(yā)縮(suō)，壓力逐級(jí)升(shēng)高(gāo)後(hòu)從排氣(qì)口排出；

4. 牽引(yǐn)結構(gòu)阻(zǔ)擋高壓側氣(qì)體反向(xiàng)倒流(liú)，因(yīn)此相(xiāng)比普(pǔ)通(tōng)渦輪(lún)泵，耐更高前級壓力，極限真空(kōng)更(gēng)好。