駿河精(jīng)機（SURUGA SEIKI）產(chǎn)品(pǐn)六大核(hé)心(xīn)優勢

一，自(zì)研(yán)核心(xīn)機械(xiè)結構(gòu)，精度(dù)與剛(gāng)性底(dǐ)層(céng)壁壘（競(jìng)品難以(yǐ)復刻）

1. 哥(gē)特(tè)式(shì)四(sì)點(diǎn)接觸(chù)交叉滾(gǔn)柱導(dǎo)軌(guǐ)（du家導(dǎo)向核心）

• 綫接(jiē)觸(chù)承(chéng)載(zǎi)，側向，垂(chuí)向(xiàng)剛性(xìng)是(shì)普(pǔ)通(tōng)滾珠(zhū)導(dǎo)軌 2 倍(bèi)，俯(fǔ)仰，偏擺形變極小，晶圓載(zǎi)台長(cháng)期負載不傾斜；

• 出(chū)廠(chǎng)預(yù)緊消(xiāo)除間隙(xì)，0.1μm 超(chāo)低速微進給無爬(pá)行(háng)，無抖(dǒu)動(dòng)，探針(zhēn)台紮針(zhēn)，光(guāng)學(xué)成像(xiàng)無虛(xū)影；

• 鏡麵研(yán)磨(mó)導(dǎo)軌直綫度(dù)≤3μm，長效專用(yòng)潤(rùn)滑(huá)，24 小(xiǎo)時量產(chǎn)數(shù)千小時精(jīng)度(dù)幾乎(hū)不衰(shuāi)減(jiǎn)。

2. 雙(shuāng)螺母(mǔ)預緊(jǐn) C1/C2 級(jí)超精密滾珠(zhū)絲杠

• 雙螺母錯(cuò)位預緊(jǐn)結構，整機反向間隙≤1μm，往(wǎng)返(fǎn)換向無空程(chéng)漂(piāo)移，解(jiě)決普通(tōng)模組來回定(dìng)位偏移，刮(guā)傷(shāng)晶(jīng)圓焊(hàn)盤(pán)痛點；

• 絲杠深冷穩定化熱(rè)處(chǔ)理(lǐ)，抑製(zhì)溫變(biàn)形(xíng)，高低(dī)溫(wēn)，長時間連(lián)續作業(yè)精度波(bō)動極(jí)小(xiǎo)；螺紋(wén)鏡(jìng)麵研磨，摩擦低(dī)，壽命長。

3. 整塊基(jī)材(cái)一(yī)體化去應(yīng)力機身工(gōng)藝

4. 全(quán)行程激光(guāng)幹(gān)涉出廠(chǎng)校準

二(èr)，超薄(báo)中空(kōng)一體(tǐ)化(huà)多軸設(shè)計，適配(pèi)半導體狹小腔體剛需(xū)

1. 一體式 XYθ 中空復合滑(huá)台（行(háng)業du家(jiā)標(biāo)準化）

   傳(chuán)統分(fēn)體(tǐ) XY + 旋轉台堆疊(dié)厚度(dù)大，駿河(hé)一體結(jié)構(gòu)整機高度(dù)降(jiàng)低 30%；台麵預留大口(kǒu)徑中空(kōng)通孔（Φ30~50mm），可穿(chuān)過真(zhēn)空(kōng)管路，上下(xià)光路，適配晶圓雙(shuāng)麵(miàn)視覺透(tòu)射檢測(cè)，真(zhēn)空腔預對(duì)準工位(wèi)；旋轉(zhuǎn)重(zhòng)復(fù)定位可(kě)達 ±10 角秒(miǎo)，是探針(zhēn)台(tái)，固晶機標配(pèi)。

2. ji致薄(báo)型 PG 微(wēi)型(xíng)係列(liè)

   最薄機(jī)身 28mm，適(shì)配設(shè)備腔體內(nèi)極(jí)小(xiǎo)安(ān)裝空(kōng)間(jiān)，解決先進(jìn)封裝(zhuāng)設備(bèi)內部(bù)機構密集，空(kōng)間不足問題；同(tóng)負(fù)載(zǎi)下體積比(bǐ)通用滑台小 20%~40%。

3. 多(duō)軸一(yī)體成型（XYZ，六維俯(fǔ)仰傾斜(xié)模組(zǔ)）

   出(chū)廠預組(zǔ)裝，同軸校準完成，省去客戶多(duō)軸(zhóu)堆疊調試，消除拼接累(léi)積誤差，設備開(kāi)發(fā)周期縮短 30%。

三，全(quán)係(xì)列標(biāo)準(zhǔn)化(huà)特(tè)種工況(kuàng)機(jī)型(xíng)，半導體(tǐ)真空 / 潔淨賽(sài)道優(yōu)勢(shì)突(tū)出

1. Class100/1000 潔(jié)淨(jìng)室(shì)標準(zhǔn)款

   低粉塵表麵處理，無(wú)揮(huī)發潤滑(huá)，無(wú)金(jīn)屬碎屑脫落(là)，適配晶圓封(fēng)裝，光學(xué)無塵(chén)車間(jiān)；

2. 高真(zhēn)空低(dī)釋氣(qì)專(zhuān)用滑台

   標配(pèi)真空(kōng)專用(yòng)全(quán)氟(fú)潤滑(huá)脂(zhī)，無(wú)有(yǒu)機(jī)揮發材(cái)質，適(shì)配(pèi)刻蝕，薄膜(mó)真空腔體，不(bù)會汙染(rǎn)晶(jīng)圓(yuán)膜層(céng)；

3. 全封閉(bì)不鏽鋼(gāng)伸縮防(fáng)塵(chén)罩(zhào)（C 型係(xì)列）

   阻擋粉塵(chén)，清(qīng)洗(xǐ)藥液，適配晶(jīng)圓(yuán)清洗，點膠，Mini LED 檢測；

4. 垂直(zhí)負(fù)載(zǎi)電磁(cí)刹(chà)車(chē)選配

   垂直升降 Z 軸(zhóu)斷(duàn)電鎖止，防(fáng)止(zhǐ)晶圓，芯(xīn)片墜落報廢，固晶機，檢(jiǎn)測設備bi備(bèi)。