一(yī)，型號(hào)含義
EV‑A10：係列(liè)名
，A10 = 公(gōng)稱(chēng)抽(chōu)速 1000 L/min
‑2S：單相 200–240V / 50/60Hz版(bǎn)本(běn)（另有(yǒu)三(sān)相‑3S）
二，核心(xīn)參數（2026 原裝規格）
抽(chōu)速(sù)：1000 L/min（50Hz）；大(dà)氣(qì)壓下約 800 L/min
極限(xiàn)壓力：
氣(qì)鎮關：≤1 Pa
氣鎮開：2–3 Pa
水(shuǐ)蒸氣處(chǔ)理(lǐ)：500 g/h（氣(qì)鎮開）
電源：單(dān)相(xiāng) 200–240V
，50/60Hz
，3.0 kVA
功耗：極限真空約(yuē)1.1 kW
接口(kǒu)：進氣 NW40（KF40）
，排(pái)氣(qì) NW25（KF25）
尺寸(cùn) / 重量：約 560×320×450 mm
，72–75 kg
，帶腳輪
冷卻：空冷（無需冷卻水）
噪音(yīn)：約(yuē) 52 dB (A)
，潔淨室(shì)友好(hǎo)
三(sān)，結(jié)構與特點(diǎn)
幹式無油：羅茨(cí) + 爪式(shì)復(fù)合轉子
，腔(qiāng)體wan全無油
，無油霧(wù)汙(wū)染，無返油。
空冷(lěng)免(miǎn)水：不(bù)用冷(lěng)卻水(shuǐ)
，即插即(jí)用（plug & pump）
，安裝(zhuāng)簡單(dān)。
耐腐蝕(shí)：轉子塗層 + 特(tè)種密(mì)封
，可處理少量(liáng)水汽(qì)與弱腐蝕(shí)氣體。
節能智能：DC 電機 + 怠(dài)速 / 休眠(mián)控(kòng)製
，低(dī)負(fù)載(zǎi)省電。
**合規(guī)：CE，SEMI‑S2，UL 認證株(zhū)式(shì)會社荏原製(zhì)作(zuò)所。
四，典(diǎn)型(xíng)用(yòng)途
半導(dǎo)體：Load Lock，真(zhēn)空傳送，等離子(zǐ)清洗(xǐ)
鋰(lǐ)電(diàn)：注液(yè)前幹燥(zào)，真空(kōng)封裝
真空鍍膜(mó)：PVD，濺(jiàn)射，蒸(zhēng)鍍(dù)前(qián)級泵(bèng)
分析(xī)儀器：質譜(pǔ)，電鏡，檢(jiǎn)漏係統(tǒng)
科研 / 工(gōng)業：凍幹(gān)，脫泡(pào)，小型真空(kōng)爐