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日(rì)本(běn)TORAY東(dōng)麗(lì)用於半導(dǎo)體的氧氣分(fēn)析(xī)儀

描述:日本TORAY東麗用於半(bàn)導體的(dí)氧(yǎng)氣分析(xī)儀(yí)MS-500
測(cè)量(liáng)原(yuán)理(lǐ)/選型(xíng)/維(wéi)護基(jī)礎

  • 產品型號:MS-500
  • 廠商性質:經(jīng)銷商
  • 更(gēng)新(xīn)時間(jiān):2025-12-25
  • 訪(fǎng)問量:617
產(chǎn)品(pǐn)介(jiè)紹(shào)/ PRODUCT PRESENTATION
品牌TORAY/東麗應(yīng)用領(lǐng)域(yù)醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電(diàn)子(zǐ)/電(diàn)池,電氣,綜(zōng)合(hé)

日本TORAY東(dōng)麗(lì)用(yòng)於半(bàn)導體(tǐ)的氧氣分(fēn)析儀(yí)MS-500

日(rì)本(běn)TORAY東(dōng)麗用於(yú)半導(dǎo)體(tǐ)的氧氣分析儀(yí)MS-500


測(cè)量(liáng)原理/選型/維護基礎


氧化鋯(gào)氧氣濃度計測量原(yuán)理

氧化鋯(gào)陶瓷(cí)的兩麵(miàn)均(jūn)加工(gōng)有電極(jí),有在(zài)高(gāo)溫下(xià)一側(cè)電(diàn)極電離(lí)氧(yǎng)分子,另一側電(diàn)極將氧(yǎng)離子還原(yuán)成氧分(fēn)子的(dí)特性。這種(zhǒng)性(xìng)質稱(chēng)為(wéi)離子(zǐ)傳(chuán)導(dǎo),離子(zǐ)傳導(dǎo)程度(dù)隨著(zhuó)氧(yǎng)化鋯陶瓷兩(liǎng)側氧(yǎng)濃(nóng)度差的(dí)增大(dà)而增大。在此期間(jiān),電子在(zài)兩(liǎng)個電極之間交(jiāo)換,離子傳導(dǎo)的程度(=氧(yǎng)化鋯陶瓷(cí)兩側(cè)的氧濃(nóng)度差(chà))可以被(bèi)提(tí)取(qǔ)為(wéi)兩(liǎng)個電極之(zhī)間的(dí)電(diàn)動勢的大小。如(rú)下圖所示(shì),根(gēn)據(jù)能(néng)斯特(tè)理(lǐ)論公式可(kě)以得到(dào)這個電(diàn)動勢的穩定值(zhí),因此東麗氧(yǎng)化鋯傳感器可以提供(gōng)穩(wěn)定(dìng)可(kě)靠(kào)的(dí)氧氣濃度值(zhí)。

使用(yòng)氧化(huà)鋯氧氣濃度計(jì)的一般(bān)注意事項(xiàng)

氧(yǎng)化鋯氧氣濃(nóng)度計(jì)可(kě)在(zài)約(yuē) 700℃ 的高溫下(xià)工作(zuò)。因(yīn)此,在(zài)以下情(qíng)況(kuàng)下,可能無法進行(háng)測(cè)量(liáng),並且可(kě)能(néng)會影響(xiǎng)傳感(gǎn)器(qì)的(dí)壽(shòu)命。
  • 由於氧(yǎng)氣濃度(dù)計(jì)內部有電爐,因此(cǐ)不(bù)能在安(ān)裝氣氛為防(fáng)爆的區域使(shǐ)用。

  • 如果(guǒ)可燃(rán)氣體(tǐ)(如(rú)氫(qīng)氣,甲(jiǎ)烷,酒(jiǔ)精(jīng),一氧化(huà)碳(tàn)等)進(jìn)入氧氣(qì)計(jì)內部,會(huì)發生(shēng)燃燒(shāo)反應,導致測量誤(wù)差。

  • 有(yǒu)機二氧(yǎng)化(huà)矽(用於密(mì)封劑等)會導致傳感器(qì)劣化。(這是(shì)傳感(gǎn)器(qì)劣化的最常(cháng)見原(yuán)因之一。

  • 鹵素(尤(yóu)其(qí)是(shì)氯(lǜ))會導致傳感(gǎn)器故(gù)障(zhàng)。

  • 如(rú)果(guǒ)一氧化碳等熱值較高(gāo)的物質間(jiān)歇性地混入傳(chuán)感器(qì)中(zhōng),則(zé)會接收(shōu)熱歷史並(bìng)導致(zhì)傳感(gǎn)器(qì)故障。

  • 如果混(hùn)入大量Nox,Sox等(děng)腐蝕性氣(qì)體,會導致傳感器(qì)故(gù)障。

  • 氟(fú)利昂氣(qì)體(tǐ)在(zài)高溫下(xià)可(kě)能會引起(qǐ)分離反(fǎn)應,導致(zhì)傳感器(qì)劣(liè)化。

  • 水滴(dī),灰塵和霧(wù)氣可(kě)能(néng)會損壞(huài)傳感(gǎn)器,縮(suō)短(duǎn)其(qí)使用(yòng)壽(shòu)命並導(dǎo)致(zhì)錯(cuò)誤。測(cè)量含(hán)有這些氣體的氣(qì)體時(shí),請(qǐng)在(zài)將(jiāng)其流(liú)入氧氣濃(nóng)度(dù)計之前(qián)先將(jiāng)其除去(qù)。購(gòu)買(mǎi)前(qián)請(qǐng)咨詢(xún)我(wǒ)們有關(guān)去(qù)除方(fāng)法。

選(xuǎn)型圖(tú)

如(rú)果(guǒ)您(nín)在選擇(zé)型(xíng)號(hào)時(shí)遇(yù)到(dào)困難,請(qǐng)參(cān)考下表。

目的兼容型號(hào)解(jiě)釋其(qí)他(tā)選項(xiàng)
半(bàn)導體,液晶(jīng),
電(diàn)子元件
MS-500用於(yú)安(ān)裝在半導體製造設備(bèi)等上,最多可(kě)測量8點
LC-450A兼(jiān)容 ppm 級測量,交流電(diàn)源類型(xíng)
  • 活(huó)性炭過(guò)濾器

  • 矽過(guò)濾(lǜ)器

  • 過濾棉(mián)

LC-450D支(zhī)持(chí)ppm級(jí)測(cè)量,DC電源(yuán)類(lèi)型
LC-860兼容 ppb 級測(cè)量,交流(liú)電源(yuán)類(lèi)型
SD/LD-450真(zhēn)空(kōng)室(shì)安裝型(用(yòng)於設(shè)備集(jí)成)交流電(diàn)源(yuán)裝(zhuāng)置:DU-450
燒成(chéng)爐/
氮氣回流(liú)焊(hàn)/
廢(fèi)氣(qì)
RF-400具有(yǒu)氧傳(chuán)感器保護(hù)功能的烘(hōng)烤爐(lú)/回(huí)流焊(hàn)專用機(jī)
  • 活性(xìng)炭過濾器

  • 矽過(guò)濾器

  • 過濾棉

LC-750H/PC-111內置抽氣(qì)泵(bèng),適用於中高(gāo)濃度(dù)汙濁(zhuó)氣(qì)體
天(tiān)然(rán)氣裝(zhuāng)置/
空氣(qì)分離
LC-750H中/高濃(nóng)度(dù)通用(yòng)型
LC-750H/PC-110內(nèi)置(zhì)抽氣泵,適用(yòng)於中(zhōng)高濃(nóng)度清潔氣(qì)體(tǐ)
LC-750L低濃度(dù)通用(yòng)型(xíng)
LC-750L/PC-120內置抽(chōu)氣泵(bèng),適(shì)用於低濃(nóng)度清(qīng)潔(jié)氣體(tǐ)
真空(kōng)沉積/
密(mì)封爐(lú)/
手(shǒu)套箱(xiāng)
SD/LD-450分(fēn)離(lí)式傳(chuán)感器/轉換器型,薄壁(bì)安裝(zhuāng)轉換(huàn)器交流(liú)電(diàn)源(yuán)裝置:DU-450
食品(pǐn)包裝(zhuāng)LC-450F用於充氣(qì)後取樣(yàng)檢查(chá)(取(qǔ)樣探(tàn)頭(tóu))
  • 活(huó)性炭入口(kǒu)

  • 頂空(kōng)進樣器

LC-750F用(yòng)於充氣(qì)後取樣檢(jiǎn)查(注射器(qì))
LF-200用於(yú)安裝在氣(qì)體灌裝(zhuāng)自(zì)動包(bāo)裝(zhuāng)機上
  • 活性炭過濾器

  • 過濾棉(mián)



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