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日(rì)本(běn)TORAY東麗(lì)用於半(bàn)導體的(dí)氧(yǎng)氣(qì)分析(xī)儀

描(miáo)述:日本(běn)TORAY東(dōng)麗(lì)用於(yú)半導體的氧氣分析儀LC-450D
測(cè)量(liáng)原理/選(xuǎn)型/維護基礎

  • 產品型號(hào):LC-450D
  • 廠(chǎng)商性質:經(jīng)銷(xiāo)商(shāng)
  • 更(gēng)新(xīn)時間:2025-12-25
  • 訪問量:665
產(chǎn)品(pǐn)介(jiè)紹/ PRODUCT PRESENTATION
品牌TORAY/東麗(lì)應(yīng)用(yòng)領(lǐng)域(yù)醫(yī)療(liáo)衛(wèi)生(shēng),化工,電子/電池,電氣,綜(zōng)合(hé)

日本(běn)TORAY東麗用(yòng)於半導體的(dí)氧氣(qì)分(fēn)析儀LC-450D

日本(běn)TORAY東(dōng)麗(lì)用於半導體(tǐ)的氧氣分析儀LC-450D


測(cè)量原理/選型/維(wéi)護基礎


氧化鋯氧氣(qì)濃度計(jì)測量原理

氧化鋯陶(táo)瓷的(dí)兩麵均加工(gōng)有電(diàn)極,有在(zài)高溫(wēn)下一(yī)側電極電離(lí)氧(yǎng)分子,另(lìng)一(yī)側(cè)電(diàn)極將氧(yǎng)離子還(huán)原成(chéng)氧分子(zǐ)的(dí)特(tè)性(xìng)。這(zhè)種(zhǒng)性質稱(chēng)為(wéi)離子(zǐ)傳導(dǎo),離子(zǐ)傳(chuán)導程度隨著氧(yǎng)化鋯(gào)陶瓷(cí)兩側(cè)氧濃(nóng)度(dù)差(chà)的增(zēng)大而增(zēng)大(dà)。在此期(qī)間,電子在兩(liǎng)個電(diàn)極(jí)之(zhī)間交(jiāo)換,離子傳導的(dí)程(chéng)度(=氧(yǎng)化(huà)鋯(gào)陶瓷兩(liǎng)側(cè)的(dí)氧濃度差(chà))可(kě)以被提取為兩(liǎng)個(gè)電(diàn)極之間的(dí)電動(dòng)勢(shì)的大小。如下圖所(suǒ)示,根據能(néng)斯(sī)特(tè)理論公式可以得到(dào)這個電動勢的穩定值,因(yīn)此(cǐ)東麗氧化鋯(gào)傳感器(qì)可以提(tí)供穩定(dìng)可(kě)靠的氧(yǎng)氣濃度(dù)值。

使(shǐ)用(yòng)氧化鋯氧氣濃度(dù)計的一般注意(yì)事項

氧化(huà)鋯氧(yǎng)氣濃(nóng)度計可(kě)在(zài)約 700℃ 的高(gāo)溫下(xià)工(gōng)作。因(yīn)此,在(zài)以下情(qíng)況下,可能(néng)無(wú)法進(jìn)行測(cè)量,並且(qiě)可能會(huì)影(yǐng)響(xiǎng)傳感器的壽命(mìng)。
  • 由於氧(yǎng)氣濃度(dù)計內部(bù)有(yǒu)電(diàn)爐(lú),因(yīn)此不能在(zài)安裝氣氛(fēn)為(wéi)防(fáng)爆的(dí)區(qū)域(yù)使用。

  • 如(rú)果可(kě)燃氣體(tǐ)(如(rú)氫氣,甲(jiǎ)烷(wán),酒精(jīng),一氧化碳等(děng))進入氧氣計(jì)內部,會發(fā)生燃燒反應(yīng),導(dǎo)致(zhì)測量(liáng)誤(wù)差。

  • 有機二(èr)氧(yǎng)化(huà)矽(guī)(用於密封劑等)會導致(zhì)傳(chuán)感(gǎn)器劣(liè)化。(這(zhè)是(shì)傳(chuán)感器劣(liè)化(huà)的(dí)最(zuì)常(cháng)見原(yuán)因(yīn)之(zhī)一(yī)。

  • 鹵(lǔ)素(尤(yóu)其是氯(lǜ))會(huì)導致(zhì)傳感器(qì)故障。

  • 如果一(yī)氧化(huà)碳等熱值(zhí)較(jiào)高的(dí)物質間歇(xiē)性(xìng)地混入(rù)傳(chuán)感(gǎn)器中,則(zé)會(huì)接(jiē)收熱歷(lì)史(shǐ)並導致(zhì)傳(chuán)感(gǎn)器(qì)故障。

  • 如果(guǒ)混(hùn)入大量Nox,Sox等腐(fǔ)蝕性(xìng)氣體,會導(dǎo)致傳感器(qì)故(gù)障。

  • 氟(fú)利昂(áng)氣體(tǐ)在高溫(wēn)下可能(néng)會引起分離反(fǎn)應,導(dǎo)致傳(chuán)感器劣化。

  • 水滴(dī),灰塵和(hé)霧氣(qì)可(kě)能(néng)會損(sǔn)壞(huài)傳(chuán)感(gǎn)器,縮(suō)短(duǎn)其(qí)使(shǐ)用壽(shòu)命並導致(zhì)錯誤。測(cè)量含(hán)有(yǒu)這(zhè)些氣體的氣體(tǐ)時,請在將(jiāng)其流入(rù)氧(yǎng)氣(qì)濃度(dù)計之前(qián)先將(jiāng)其(qí)除去(qù)。購買前請咨詢我們有關去(qù)除(chú)方(fāng)法。

選型(xíng)圖

如果您在(zài)選(xuǎn)擇型號(hào)時遇(yù)到困難(nán),請參考(kǎo)下表。

目的(dí)兼(jiān)容型號解釋其他選項(xiàng)
半導(dǎo)體(tǐ),液晶(jīng),
電(diàn)子元(yuán)件
MS-500用於安裝在半導體(tǐ)製造設備(bèi)等(děng)上,最(zuì)多(duō)可(kě)測(cè)量8點
LC-450A兼(jiān)容 ppm 級測(cè)量,交(jiāo)流(liú)電源(yuán)類(lèi)型(xíng)
  • 活性炭過(guò)濾器

  • 矽過濾器

  • 過濾棉

LC-450D支持(chí)ppm級測量,DC電(diàn)源類型(xíng)
LC-860兼容(róng) ppb 級測量,交流(liú)電源類型(xíng)
SD/LD-450真空室安(ān)裝型(用於(yú)設備(bèi)集成)交(jiāo)流電源裝置:DU-450
燒(shāo)成(chéng)爐/
氮(dàn)氣回(huí)流焊(hàn)/
廢氣
RF-400具有(yǒu)氧傳感器保護(hù)功能(néng)的烘烤爐/回(huí)流焊專用(yòng)機(jī)
  • 活性(xìng)炭(tàn)過(guò)濾器

  • 矽過濾器

  • 過(guò)濾棉(mián)

LC-750H/PC-111內置抽(chōu)氣泵,適用於中(zhōng)高(gāo)濃(nóng)度汙濁(zhuó)氣(qì)體
天然(rán)氣裝(zhuāng)置/
空(kōng)氣分離
LC-750H中/高(gāo)濃(nóng)度(dù)通(tōng)用型
LC-750H/PC-110內置抽氣泵,適用於中(zhōng)高(gāo)濃(nóng)度(dù)清(qīng)潔氣(qì)體
LC-750L低(dī)濃(nóng)度通用(yòng)型(xíng)
LC-750L/PC-120內置抽(chōu)氣泵,適(shì)用於低濃度清潔(jié)氣體
真空沉積/
密封(fēng)爐(lú)/
手(shǒu)套箱
SD/LD-450分離(lí)式(shì)傳(chuán)感(gǎn)器(qì)/轉換(huàn)器型(xíng),薄壁(bì)安(ān)裝轉換(huàn)器交(jiāo)流電源(yuán)裝置:DU-450
食品(pǐn)包裝LC-450F用於充(chōng)氣(qì)後取樣檢查(取(qǔ)樣(yàng)探(tàn)頭)
  • 活性(xìng)炭(tàn)入(rù)口

  • 頂空進(jìn)樣器

LC-750F用(yòng)於充氣後取樣(yàng)檢(jiǎn)查(注射器)
LF-200用(yòng)於安裝(zhuāng)在(zài)氣體灌(guàn)裝(zhuāng)自(zì)動包裝(zhuāng)機上(shàng)
  • 活(huó)性炭過(guò)濾器(qì)

  • 過濾棉(mián)





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