TEM-TECH騰(téng)泰(tài)克(kè)氣體(tǐ)麵(miàn)板用壓(yā)力傳(chuán)感器HYPFZW-420TS2

TEM-TECH騰泰克(kè)氣(qì)體(tǐ)麵(miàn)板用(yòng)壓力傳(chuán)感器(qì)HYPFZW-420TS2

HYPFZW

集(jí)成(chéng)型氣(qì)體(tǐ)麵板用壓(yā)力傳感器(qì)

高精度·對環(huán)境(jìng)變化具(jù)有(yǒu)高(gāo)度穩定(dìng)性

接觸氣體(tǐ)部(bù)為麵向全SUS316L氣(qì)體麵板壓(yā)力(lì)傳(chuán)感器1g壓力:-0.1或(huò)

0~0.3.0.5.1MPa電流/電(diàn)壓輸出(chū)，各種(zhǒng)集(jí)成尺寸的C矽(guī)，W矽接觸(chù)

部:SUS316L

用(yòng)於(yú)半(bàn)導(dǎo)體製造裝置氣(qì)體(tǐ)麵板

產品(pǐn)介紹(shào)：

測(cè)定(dìng)流體(tǐ)

半導體工藝氣(qì)體

接(jiē)氣部材質

光圈:SUS316L(VIM+VAR)傳感器單元:SUS316L

測定範囲(wéi)

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許(xǔ)容限(xiàn)度壓(yā)力

定(dìng)格(gé)壓(yā)力(lì)x2倍(bèi)

電(diàn)源(yuán)電(diàn)壓

DC24V±10%

直流15~24V

出(chū)力(lì)信號

4~20mADC(2裸式)

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫(xiàn)式(shì))

輪合精度(dù)

~0.5%FS(直(zhí)綫性，歇斯(sī)底裏(lǐ)包括可再(zài)現(xiàn)性(xìng))

溫(wēn)度補償範囲(wéi)

0~溫度:不(bù)結冰(bīng)，不結(jié)露

動作溫度(dù)範(fàn)囲

0~80度(無結冰，無結(jié)露)

溫(wēn)度(dù)特性

+/-0.05%FS/度(dù)C(溫(wēn)度補償(cháng)範(fàn)圍內(nèi))

保護等級

IP55相當(dāng)*室內(nèi)規格(gé)

安裝(zhuāng)螺釘

C矽，W矽

螺釘(dīng)尺寸(cùn)

1.125"1.5(請(qǐng)咨(zī)詢(xún)其他)

電纜(lǎn)取(qǔ)出

可裝卸(xiè)式(shì)多治見連(lián)接器(qì)

附(fù)帶電纜

3m標準(2芯+屏(píng)蔽(bì)綫)

3m標準(3芯+屏蔽(bì)綫)

密封方法(fǎ)

特(tè)殊電子(zǐ)束焊接

泄(xiè)漏(lòu)量

<5x10 12P/秒(miǎo)

內麵精細(xì)度

Ra:<0.25μm以(yǐ)下(xià)

Model: HYPFZW

HYPFZW-420TS2

HYPFZW-420TS1

HYPFZW-420TS3

HYPFZW-420PS1

HYPFZW-420PS2

HYPFZW-420PS3

HYPFZW-420MS1

HYPFZW-420MS2

HYPFZW-420MS3

HYPFZW-105TS2

HYPFZW-105TS1