日本TEM-TECH精度(dù)高(gāo)壓(yā)力傳(chuán)感器HYPFZW-105TS2

日本TEM-TECH精度高壓力傳(chuán)感器(qì)HYPFZW-105TS2

HYPFZW

集成型(xíng)氣體麵板用壓力(lì)傳(chuán)感器(qì)

高精(jīng)度·對(duì)環境變化具有(yǒu)高(gāo)度(dù)穩定性

接(jiē)觸(chù)氣(qì)體(tǐ)部(bù)為(wéi)麵向全(quán)SUS316L氣體麵(miàn)板(bǎn)壓力傳感器1g壓力:-0.1或

0~0.3.0.5.1MPa電(diàn)流/電壓輸(shū)出，各種(zhǒng)集(jí)成尺寸的(dí)C矽，W矽接觸(chù)

部(bù):SUS316L

用(yòng)於半導體(tǐ)製造裝置氣體(tǐ)麵板

產(chǎn)品(pǐn)介紹：

測(cè)定流(liú)體(tǐ)

半導(dǎo)體(tǐ)工(gōng)藝(yì)氣體

接(jiē)氣部材質(zhì)

光圈(quān):SUS316L(VIM+VAR)傳感器(qì)單元(yuán):SUS316L

測定範囲(wéi)

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許容(róng)限度(dù)壓力(lì)

定格壓力x2倍(bèi)

電(diàn)源電(diàn)壓(yā)

DC24V±10%

直(zhí)流15~24V

出力信號

4~20mADC(2裸(luǒ)式)

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫式)

輪合精度(dù)

~0.5%FS(直(zhí)綫性，歇斯底(dǐ)裏(lǐ)包(bāo)括(kuò)可再現(xiàn)性(xìng))

溫(wēn)度補償範囲(wéi)

0~溫度:不結冰(bīng)，不結(jié)露

動作(zuò)溫(wēn)度範囲

0~80度(無(wú)結冰，無結露)

溫(wēn)度(dù)特(tè)性

+/-0.05%FS/度(dù)C(溫(wēn)度補(bǔ)償範圍內)

保護等級

IP55相當(dāng)*室內(nèi)規(guī)格(gé)

安裝(zhuāng)螺(luó)釘

C矽，W矽

螺(luó)釘(dīng)尺寸(cùn)

1.125"1.5(請咨詢其(qí)他(tā))

電(diàn)纜取(qǔ)出

可裝卸式多治(zhì)見(jiàn)連(lián)接(jiē)器(qì)

附帶電(diàn)纜

3m標準(zhǔn)(2芯(xīn)+屏(píng)蔽綫(xiàn))

3m標準(3芯+屏蔽綫)

密封(fēng)方(fāng)法(fǎ)

特殊(shū)電子束(shù)焊接(jiē)

泄(xiè)漏量(liáng)

<5x10 12P/秒(miǎo)

內麵(miàn)精細度(dù)

Ra:<0.25μm以(yǐ)下(xià)

Model: HYPFZW

HYPFZW-420TS2

HYPFZW-420TS1

HYPFZW-420TS3

HYPFZW-420PS1

HYPFZW-420PS2

HYPFZW-420PS3

HYPFZW-420MS1

HYPFZW-420MS2

HYPFZW-420MS3

HYPFZW-105TS2

HYPFZW-105TS1