玉(yù)崎TEM-TECH壓(yā)力傳感器半導體(tǐ)製造(zào)設(shè)備(bèi)用HYPFZW-005TS3

玉崎TEM-TECH壓(yā)力(lì)傳(chuán)感器(qì)半(bàn)導體(tǐ)製造設備用(yòng)HYPFZW-005TS3

HYPFZW

集(jí)成(chéng)型氣(qì)體麵(miàn)板用壓(yā)力傳感器

高(gāo)精(jīng)度(dù)·對環境(jìng)變化(huà)具有高(gāo)度穩定性

接觸氣體部為麵向全(quán)SUS316L氣體(tǐ)麵(miàn)板(bǎn)壓力傳(chuán)感器1g壓(yā)力(lì):-0.1或

0~0.3.0.5.1MPa電(diàn)流/電壓(yā)輸(shū)出
，各種(zhǒng)集成(chéng)尺寸的(dí)C矽(guī)，W矽接觸

部:SUS316L

用(yòng)於半導體(tǐ)製造裝(zhuāng)置氣體麵(miàn)板

產品(pǐn)介(jiè)紹：

測定流(liú)體

半導體工藝(yì)氣體

接氣部(bù)材質(zhì)

光圈(quān):SUS316L(VIM+VAR)傳感器單元:SUS316L

測(cè)定範囲

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許(xǔ)容(róng)限(xiàn)度壓力

定(dìng)格(gé)壓(yā)力x2倍

電源電(diàn)壓

DC24V±10%

直(zhí)流(liú)15~24V

出力信(xìn)號(hào)

4~20mADC(2裸式(shì))

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫式(shì))

輪合(hé)精度

~0.5%FS(直綫性(xìng)，歇(xiē)斯(sī)底裏包(bāo)括(kuò)可再現性(xìng))

溫度補(bǔ)償(cháng)範囲(wéi)

0~溫度:不(bù)結(jié)冰，不結露(lòu)

動(dòng)作(zuò)溫(wēn)度範(fàn)囲

0~80度(無(wú)結(jié)冰，無(wú)結(jié)露)

溫(wēn)度特性

+/-0.05%FS/度C(溫度補償範圍內(nèi))

保(bǎo)護(hù)等(děng)級(jí)

IP55相(xiāng)當(dāng)*室(shì)內規格

安(ān)裝(zhuāng)螺(luó)釘

C矽，W矽

螺釘(dīng)尺(chǐ)寸(cùn)

1.125"1.5(請(qǐng)咨(zī)詢其他)

電(diàn)纜(lǎn)取(qǔ)出

可(kě)裝卸式多治(zhì)見連(lián)接器(qì)

附帶(dài)電(diàn)纜(lǎn)

3m標準(2芯+屏蔽(bì)綫)

3m標準(zhǔn)(3芯(xīn)+屏蔽(bì)綫)

密(mì)封(fēng)方法(fǎ)

特殊(shū)電子束焊(hàn)接(jiē)

泄漏量

<5x10 12P/秒

內(nèi)麵精細度

Ra:<0.25μm以下

Model: HYPFZW

HYPFZW-420TS2

HYPFZW-420TS1

HYPFZW-420TS3

HYPFZW-420PS1

HYPFZW-420PS2

HYPFZW-420PS3

HYPFZW-420MS1

HYPFZW-420MS2

HYPFZW-420MS3

HYPFZW-105TS2

HYPFZW-105TS1