日本TEM-TECH集(jí)成燃(rán)氣麵(miàn)板(bǎn)的壓(yā)力(lì)傳感器HYPFZW-005PS3

日本TEM-TECH集成燃氣麵板(bǎn)的壓力(lì)傳(chuán)感器HYPFZW-005PS3

HYPFZW

集成(chéng)型氣體麵板用壓(yā)力傳感器(qì)

高精(jīng)度(dù)·對環境變化具有高度穩(wěn)定性(xìng)

接(jiē)觸(chù)氣體部為麵向(xiàng)全(quán)SUS316L氣體麵(miàn)板(bǎn)壓力(lì)傳(chuán)感(gǎn)器(qì)1g壓力:-0.1或

0~0.3.0.5.1MPa電流(liú)/電(diàn)壓輸出(chū)，各(gè)種(zhǒng)集(jí)成尺寸的C矽(guī)，W矽(guī)接觸

部:SUS316L

用於半(bàn)導體製造裝置(zhì)氣體麵板

產(chǎn)品介紹：

測定流(liú)體

半(bàn)導(dǎo)體工藝氣體(tǐ)

接氣(qì)部材質

光圈:SUS316L(VIM+VAR)傳感(gǎn)器(qì)單(dān)元:SUS316L

測(cè)定範(fàn)囲

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許容限度(dù)壓(yā)力

定格壓力x2倍(bèi)

電源(yuán)電壓

DC24V±10%

直(zhí)流15~24V

出力信(xìn)號

4~20mADC(2裸式)

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫(xiàn)式(shì))

輪(lún)合精(jīng)度

~0.5%FS(直綫性，歇(xiē)斯底裏包括(kuò)可(kě)再現性)

溫(wēn)度(dù)補償範囲(wéi)

0~溫(wēn)度:不結冰，不(bù)結(jié)露

動作(zuò)溫度(dù)範(fàn)囲(wéi)

0~80度(無(wú)結(jié)冰(bīng)，無結(jié)露)

溫(wēn)度特性(xìng)

+/-0.05%FS/度C(溫(wēn)度補(bǔ)償(cháng)範圍內)

保(bǎo)護等級

IP55相當(dāng)*室內規格

安(ān)裝螺釘(dīng)

C矽，W矽(guī)

螺釘(dīng)尺(chǐ)寸(cùn)

1.125"1.5(請咨(zī)詢其(qí)他)

電纜取出

可裝卸式多治(zhì)見(jiàn)連(lián)接(jiē)器(qì)

附帶電纜(lǎn)

3m標準(2芯+屏蔽(bì)綫(xiàn))

3m標(biāo)準(3芯+屏(píng)蔽綫)

密(mì)封方法

特殊電子(zǐ)束(shù)焊接(jiē)

泄(xiè)漏量

<5x10 12P/秒

內(nèi)麵(miàn)精(jīng)細度

Ra:<0.25μm以下

Model: HYPFZW

HYPFZW-010TS2

HYPFZW-010TS1

HYPFZW-010TS3

HYPFZW-010PS1

HYPFZW-010PS2

HYPFZW-010PS3

HYPFZW-010MS1

HYPFZW-010MS2

HYPFZW-010MS3

HYPFZW-005TS2

HYPFZW-005TS1

HYPFZW-005TS3

HYPFZW-005PS1

HYPFZW-005PS2

HYPFZW-005PS3

HYPFZW-005MS1

HYPFZW-005MS2

HYPFZW-005MS3