扭矩(jǔ)傳感器的發(fā)展(zhǎn)歷(lì)程(chéng)大(dà)致(zhì)為
：光學機(jī)械變形類型(xíng)，電(diàn)磁感應類型，相(xiāng)位差類(lèi)型(xíng)，應(yīng)變(biàn)類型(xíng)。1856 年湯姆遜發現了在(zài)機(jī)械應變作用(yòng)下，金屬絲(sī)電(diàn)阻(zǔ)會發(fā)生(shēng)變(biàn)化(huà)的(dí)現象，這奠定了(liǎo)電阻應變片(piàn)的研製(zhì)基礎(chǔ)。1938 年魯奇與西(xī)蒙斯(sī)製造了(liǎo)紙基式電阻(zǔ)應變(biàn)片(piàn)。此後(hòu)，電阻應(yīng)變片(piàn)得(dé)到(dào)了快速(sù)地發展，在工程領(lǐng)域得到了廣(guǎng)泛應用(yòng)，電阻(zǔ)應變片也(yě)是用(yòng)於扭(niǔ)矩(jǔ)測(cè)量的一種(zhǒng)較佳選擇(zé)。

應變(biàn)型(xíng)扭矩(jǔ)傳(chuán)感器(qì)可利用被(bèi)測物理(lǐ)量在彈(dàn)性元件(jiàn)上(shàng)產生彈性變形(xíng)，因而彈(dàn)性(xìng)變(biàn)形可通過應變(biàn)片轉(zhuǎn)換(huàn)成電阻(zǔ)的變(biàn)化，從而(ér)測(cè)出(chū)扭矩(jǔ)值(zhí)。在轉(zhuǎn)動(dòng)狀(zhuàng)態(tài)下可(kě)靠地(dì)自(zì)供(gōng)電(diàn)技(jì)術和信(xìn)號(hào)傳(chuán)輸技(jì)術是(shì)此類扭矩傳感器仍需(xū)研究的主要問(wèn)題。1982 年(nián)日(rì)本(běn)福岡九州(zhōu)大學(xué) Sasada 等研究人員研(yán)製出(chū)了新(xīn)型磁頭(tóu)扭矩(jǔ)傳(chuán)感(gǎn)器(qì)，利用等(děng)離子(zǐ)法在(zài)轉(zhuǎn)軸(zhóu)表麵(miàn)噴(pēn)覆了一段磁致伸(shēn)縮層，可以使(shǐ)整個測試(shì)裝置做的(dí)緊湊。1984 年，Sasada 等(děng)人(rén)提出了改進方(fāng)案(àn)，為了獲得較(jiào)寬的動(dòng)態範圍(wéi)和較(jiào)好(hǎo)的(dí)綫性度，采用了(liǎo)具(jù)有特定(dìng)形狀的磁場各(gè)向異性的三角形或(huò)平行(háng)四邊形磁(cí)片。1986 年 Sasada等人(rén)研(yán)究(jiū)了應(yīng)用(yòng)非晶(jīng)薄帶的(dí)磁致伸縮逆效(xiào)應來檢(jiǎn)測(cè)扭(niǔ)矩，具體的方式是在一段(duàn)圓軸表(biǎo)麵(miàn)上粘貼非晶(jīng)薄帶，其(qí)粘貼方(fāng)向與(yǔ)圓軸(zhóu)綫成(chéng) 45度角，最(zuì)後(hòu)基於此方法(fǎ)成功的(dí)研製(zhì)了(liǎo)螺綫管(guǎn)式扭矩(jǔ)傳感器。1992 年(nián)王(wáng)榮(róng)等(děng)人(rén)為改(gǎi)善“角度(dù)依(yī)存性"問題，采用在轉軸(zhóu)的(dí)表(biǎo)麵粘貼一(yī)層(céng)特製的(dí)軟磁合(hé)金(jīn)薄帶的方法(fǎ)，研製(zhì)了逆(nì)磁(cí)致(zhì)伸(shēn)縮扭矩傳感(gǎn)器。2011 年由淮海工學(xué)院(yuàn)的文(wén)西(xī)芹，李紀(jì)明等人(rén)研(yán)究(jiū)了一(yī)種磁(cí)彈性(xìng)效(xiào)應的(dí)新(xīn)型扭(niǔ)矩傳感器(qì)，其(qí)氣隙(xì)擾動小，磁滯(zhì)小(xiǎo)，可滿足電(diàn)助力轉(zhuǎn)向係(xì)統的使用要求(qiú)。

由日(rì)立公司研製(zhì)的(dí) MR 編碼器(qì)式(shì)扭(niǔ)矩傳(chuán)感(gǎn)器是(shì)轉角(jiǎo)型(xíng)扭矩(jǔ)傳感器(qì)的(dí)典型代表，其工(gōng)作原(yuán)理(lǐ)是在(zài)被測件之間(jiān)安裝一轉軸，在(zài)轉軸的兩端分(fēn)別(bié)裝(zhuāng)有一個(gè) MR 編(biān)碼(mǎ)器，由每個編碼器的兩(liǎng)相(xiāng)正(zhèng)弦(xián)輸(shū)出可以分(fēn)別計算(suàn)出轉軸(zhóu)兩(liǎng)端的角度(dù)，再由(yóu)兩(liǎng)個角度(dù)交差(chà)計(jì)算出扭(niǔ)矩。2005 年(nián)重慶工學(xué)院(yuàn)遠(yuǎn)程測試與控(kòng)製(zhì)技(jì)術(shù)研(yán)究所開發了螺杆差(chà)動變(biàn)壓器式的(dí)扭矩傳感(gǎn)器，當彈性(xìng)軸(zhóu)受到(dào)扭(niǔ)力時，軸(zhóu)會產(chǎn)生一定的扭(niǔ)矩(jǔ)角度(dù)，再通(tōng)過(guò)內(nèi)部的銜鐵(tiě)作用以感應電動(dòng)勢的形(xíng)式輸(shū)出。2010 年由淮(huái)海工(gōng)學院(yuàn)和江蘇海洋資源(yuán)開(kāi)發研究(jiū)院共(gòng)同研製了一(yī)種非接(jiē)觸測量(liáng)方(fāng)式(shì)的磁電型(xíng)扭(niǔ)矩(jǔ)傳感(gǎn)器。2014 年(nián)趙浩(hào)，丁立軍等人(rén)基(jī)於(yú)電磁(cí)感應原理，設計了一(yī)種新(xīn)型(xíng)扭矩傳感(gǎn)器。

近年來一些新型扭矩(jǔ)傳感器不(bù)斷被開(kāi)發和研製(zhì)出來(lái)，包括(kuò)光纖式(shì)扭矩傳感器，無綫(xiàn)聲表(biǎo)麵(miàn)波(bō)式扭(niǔ)矩傳(chuán)感(gǎn)器(qì)，磁敏式扭(niǔ)矩(jǔ)傳(chuán)感器，激光(guāng)多普(pǔ)勒(lè)式扭矩(jǔ)傳感器，激光衍射(shè)式扭矩(jǔ)傳(chuán)感器(qì)等。如美國(guó)佛吉(jí)尼(ní)亞西蒙斯飛行器公(gōng)司，為了(liǎo)對(duì)飛(fēi)行(háng)器的渦輪發動(dòng)機(jī)進行(háng)扭矩測試，研發了一(yī)種基於(yú)光(guāng)纖技術的光纖式扭矩(jǔ)傳感(gǎn)器(qì)。重(zhòng)慶大學光電技術(shù)及(jí)係統教(jiào)部(bù)重(zhòng)點(diǎn)實驗(yàn)室的研(yán)究(jiū)人員(yuán)，提出(chū)了一種新型平(píng)板(bǎn)式(shì)壓電(diàn)四維力/力矩傳感器(qì)，大(dà)連理工大學(xué)聯(lián)合(hé)長春光學精密(mì)機(jī)械與(yǔ)物理研(yán)究(jiū)所，研製(zhì)了一種(zhǒng)具(jù)有分載(zǎi)測(cè)量功(gōng)能的預緊(jǐn)式(shì) Stewart 結構六(liù)維(wéi)力/力矩傳(chuán)感(gǎn)器 。