電容式(shì)濕度傳(chuán)感器是利用濕敏(mǐn)元件的(dí)電容值隨濕度變(biàn)化的原理進行(háng)濕度測量的(dí)傳感(gǎn)器。此(cǐ)類(lèi)濕(shī)敏元件實(shí)際(jì)上是(shì)一種吸濕(shī)性(xìng)電解質(zhì)材料的(dí)介(jiè)電(diàn)常(cháng)數(shù)隨濕度而(ér)變(biàn)化的(dí)薄(báo)片狀電容(róng)器，感(gǎn)濕(shī)材(cái)料(liào)為(wéi)聚酰(xiān)銨樹(shù)脂(zhī)，酰根纖維(wéi)素和金屬氧化物(wù)如(rú)AL2O3等。

    國外(wài)廠家(jiā)比較優質的(dí)濕度傳感器(qì)產(chǎn)品(pǐn)主要(yào)使用聚酰(xiān)胺樹(shù)脂，產品結(jié)構概要為在硼矽(guī)玻璃或(huò)藍寶(bǎo)石襯底上(shàng)真空蒸發(fā)製作金電(diàn)極，再噴(pēn)鍍感(gǎn)濕介質(zhì)材料（如(rú)前(qián)所述）形(xíng)式平(píng)整的(dí)感(gǎn)濕膜(mó)，再(zài)在(zài)薄膜上(shàng)蒸(zhēng)發(fā)上金電(diàn)極(jí)，金(jīn)的(dí)原(yuán)度控製(zhì)在70Um 左(zuǒ)右(yòu)，以保(bǎo)證(zhèng)水(shuǐ)蒸汽順(shùn)利通(tōng)過(guò).濕(shī)敏元件的(dí)電容值與(yǔ)相對濕(shī)度成正比關(guān)係(xì)，綫性(xìng)度約(yuē)±2%濕敏電容與相(xiāng)對濕度(dù)關(guān)係圖(tú)。

    電極金(jīn)薄(báo)膜和(hé)感(gǎn)濕膜為(wéi)多(duō)孔結構薄膜，因此(cǐ)吸濕(shī)和脫(tuō)濕容(róng)易，升濕響應小於3S，而脫(tuō)濕相對慢一些為10-30S。

    特(tè)性(xìng)曲綫看出(chū)在低濕段容值(zhí)變化(huà)分辨顯(xiǎn)著(zhù)下(xià)降(jiàng)，而在高濕段(duàn)90%RH以(yǐ)上變(biàn)化(huà)過(guò)陡(dǒu)非(fēi)綫性(xìng)現象(xiàng)較重，對(duì)於(yú)非(fēi)綫性現(xiàn)象，一(yī)方麵在(zài)電路中(zhōng)加以修正，同時可對(duì)濕(shī)度傳感器作(zuò)工藝(yì)處理，包括激光整(zhěng)補電極，純(chún)化(huà)處(chǔ)理等(děng)，可(kě)以(yǐ)收到(dào)好(hǎo)的(dí)效(xiào)果。

    電容式濕(shī)度傳感(gǎn)器綫性度較好，重復性(xìng)好(hǎo)，滯後小(xiǎo)，反應快，尺(chǐ)寸小，能(néng)在-10℃-60℃濕(shī)度(dù)環(huán)境下使用。但(dàn)電容(róng)式濕度傳(chuán)感器同(tóng)時(shí)存(cún)在質(zhì)量問(wèn)題，穩(wěn)定性(xìng)不(bù)理想(xiǎng)，由於容值在單位級變(biàn)化，1%RH為(wéi)0.3PF,容值小(xiǎo)的漂移(yí)就容易造成%RH值(zhí)的突變(biàn)，一(yī)般在(zài)控製(zhì)領域(yù)使(shǐ)用電(diàn)容式濕敏傳(chuán)感器都需(xū)要(yào)慎重(zhòng)考(kǎo)慮(lǜ)。

    使用(yòng)硼矽玻(bō)璃(lí)作襯(chèn)底(dǐ)，材(cái)質的熱效應(yīng)對(duì)感濕(shī)膜(mó)的感濕(shī)性能和壽命(mìng)產(chǎn)生(shēng)不(bù)利(lì)影響且比較(jiào)嚴(yán)重(zhòng)。

    而藍寶石成(chéng)本較高，是國(guó)外某些產品價(jià)格(gé)昂(áng)貴(guì)成本高的(dí)重要原因(yīn)，電容(róng)式濕度傳(chuán)感(gǎn)器(qì)耐(nài)溫(wēn)性
，耐腐(fǔ)蝕性都(dū)不(bù)太理想，在工業領域(yù)使用，壽命
，耐溫(wēn)性(xìng)和穩(wěn)定性
，抗(kàng)腐(fǔ)蝕(shí)能力都(dū)有待(dài)於(yú)進一步提(tí)高。