力式真空計：基於(yú)力(lì)平衡原理(lǐ)測量真空度(dù)。

麥式真空計(jì)：基(jī)於(yú)壓(yā)縮(suō)作(zuò)用原理，將(jiāng)被測(cè)真(zhēn)空係統(tǒng)中(zhōng)的氣體(tǐ)進行壓(yā)縮(suō)，通過測(cè)量壓縮後(hòu)的(dí)壓(yā)力來計(jì)算(suàn)原始真(zhēn)空度(dù)。

熱導式真空計：基(jī)於氣(qì)體熱(rè)傳(chuán)導原(yuán)理，包括(kuò)電阻式(shì)真空(kōng)計(jì)和熱電偶式真空計，通(tōng)過(guò)測(cè)量氣(qì)體分(fēn)子熱(rè)傳導導致(zhì)的溫度或電阻變化來(lái)間(jiān)接測量(liáng)壓力。

電(diàn)離式真空(kōng)計：基(jī)於電(diàn)離作用(yòng)原理(lǐ)，分為熱陰(yīn)極(jí)式真空計和(hé)冷(lěng)陰(yīn)極(jí)式真空(kōng)計(jì)，通過測(cè)量氣體(tǐ)分子電離(lí)產(chǎn)生(shēng)的離子流(liú)來確(què)定真(zhēn)空度。

絕(jué)對真(zhēn)空計：能從(cóng)其(qí)本身測得的(dí)物理量，如液(yè)柱(zhù)高度，工作(zuò)液(yè)比(bǐ)重等(děng)，直接(jiē)計算(suàn)出(chū)氣體(tǐ)壓力(lì)，測量(liáng)精(jīng)度較高，主要用作(zuò)基(jī)準量(liáng)具，如 U 形(xíng)管真空計(jì)，壓(yā)縮式真空計(jì)等(děng)。

相對真空計(jì)：主要利(lì)用氣(qì)體在低壓(yā)力下(xià)的(dí)某(mǒu)些物(wù)理特(tè)性，如(rú)熱(rè)傳(chuán)導(dǎo)，電(diàn)離，粘滯性和應變等與壓力的關係(xì)間接測量(liáng)，測(cè)量精度(dù)較低(dī)，且測量結果與(yǔ)被(bèi)測氣體(tǐ)種類和成分(fēn)有關(guān)，使(shǐ)用前(qián)需(xū)用絕對真(zhēn)空計標定和(hé)校準，實(shí)際應(yīng)用中(zhōng)占(zhān)絕大多數，如電(diàn)阻(zǔ)真(zhēn)空計，冷熱陰(yīn)極(jí)電(diàn)離真空(kōng)計等。

按(àn)刻度方法分(fēn)類

按測量原(yuán)理分(fēn)類(lèi)