• U 形管(guǎn)真空(kōng)計：用(yòng)以測量粗真空(kōng)和低(dī)真空的(dí)絕對真空(kōng)計。在 U 字形的(dí)玻璃管(guǎn)中(zhōng)充(chōng)以(yǐ)低(dī)蒸(zhēng)氣壓的(dí)油(yóu)，汞等工作(zuò)液，管(guǎn)的(dí)一端被抽成真空或直(zhí)接通(tōng)大氣，另(lìng)一(yī)端接(jiē)被(bèi)測(cè)真(zhēn)空係統，根據兩邊管(guǎn)中(zhōng)的(dí)壓差(chà)所造(zào)成(chéng)的液柱(zhù)差可測(cè)出(chū)被(bèi)測(cè)真空(kōng)係統(tǒng)的(dí)壓(yā)力(lì)。

  

壓縮(suō)式真空(kōng)計(jì)：又稱麥(mài)克勞真空計，是一種測(cè)量(liáng)低真(zhēn)空和(hé)高真空的(dí)絕對真空計(jì)。一般用硬(yìng)質(zhì)玻璃製(zhì)成(chéng)，通過活塞操作使(shǐ)汞儲存器(qì)中的(dí)汞上(shàng)升(shēng)，將(jiāng)氣(qì)體隔成兩(liǎng)個(gè)區(qū)域並進(jìn)行壓(yā)縮，根據(jù)玻璃(lí)容器(qì)體積，毛(máo)細(xì)管高度(dù)和汞(gǒng)柱高(gāo)度差，利用玻意(yì)耳定律算(suàn)出被(bèi)測(cè)壓(yā)力(lì)，測(cè)量(liáng)精(jīng)度(dù)較高。

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• 電(diàn)阻真(zhēn)空計：又(yòu)稱(chēng)皮喇(lǎ)尼真(zhēn)空(kōng)計，是一種(zhǒng)測量低真空的相(xiāng)對真(zhēn)空計(jì)，主(zhǔ)要由電(diàn)阻式規管和測量(liáng)綫(xiàn)路兩(liǎng)部分組(zǔ)成。規管(guǎn)內(nèi)封裝著電(diàn)阻溫度係數(shù)較大(dà)的鎢(wū)或(huò)鉑絲，測(cè)量時，規管與(yǔ)被測(cè)真空(kōng)係(xì)統相(xiāng)接，用電(diàn)壓，電流(liú)加熱電阻絲(sī)，其表麵溫度與周(zhōu)圍氣(qì)體分子(zǐ)熱傳導(dǎo)有(yǒu)關，而氣體分子熱(rè)傳(chuán)導(dǎo)又與壓力有(yǒu)關(guān)，根據電(diàn)阻值大小可測(cè)量出壓(yā)力。

  

• 熱(rè)陰(yīn)極電離真(zhēn)空計：通(tōng)稱(chēng)電離真空(kōng)計(jì)，主要(yào)用(yòng)於高真(zhēn)空測量(liáng)，由(yóu)圓筒(tǒng)式熱陰(yīn)極電(diàn)離規(guī)管和(hé)測量綫路(lù)兩(liǎng)部分組成。規管有(yǒu)陰極(jí)，螺旋形(xíng)柵極(jí)和圓筒形收集(jí)極三(sān)個電極(jí)，測(cè)量時，規管與(yǔ)被(bèi)測(cè)真(zhēn)空(kōng)係(xì)統相連，通(tōng)電(diàn)後(hòu)熱陰(yīn)極發射電(diàn)子，與(yǔ)管(guǎn)內(nèi)空間的低壓(yā)氣體分(fēn)子(zǐ)碰撞(zhuàng)使氣體分子(zǐ)電(diàn)離(lí)，在被(bèi)測(cè)氣體壓力低(dī)於 10-1 帕的狀況(kuàng)下(xià)，當(dāng)電子(zǐ)流恒定(dìng)時(shí)，離(lí)子(zǐ)流與被測真空係統中的(dí)氣體(tǐ)分子(zǐ)密度成正比(bǐ)，因此(cǐ)離子流(liú)大(dà)小可作(zuò)為壓(yā)力的度(dù)量(liáng)。

  

• 冷陰(yīn)極(jí)電離真空(kōng)計：一(yī)種測(cè)量高(gāo)真空(kōng)的相對(duì)真空(kōng)計，由電離規管和(hé)測量(liáng)綫路兩(liǎng)部分(fēn)組成(chéng)。規(guī)管一(yī)般(bān)由兩塊平(píng)行(háng)的陰(yīn)極，一個環形的陽極(jí)和(hé)產生(shēng)磁(cí)場的(dí)磁鋼構成(chéng)，在(zài)正交電場和磁(cí)場(cháng)的作用(yòng)下，由(yóu)低(dī)壓(yā)氣(qì)體(tǐ)分(fēn)子電(diàn)離(lí)產(chǎn)生的放(fàng)電(diàn)電流是被測(cè)壓(yā)力(lì)的函(hán)數(shù)，放電電流大小可作(zuò)為壓力(lì)的(dí)度量。