單(dān)泵大流量(liáng)，集成成本更(gēng)低(dī)

單(dān)台最(zuì)大(dà) 108.6mL/min，無需多台(tái)小(xiǎo)泵(bèng)並聯(lián)，同步(bù)伺服，多(duō)路管路(lù)，減(jiǎn)少閥(fá)門，電機(jī)，PLC 同(tóng)步(bù)程序(xù)，節(jié)省(shěng)無塵(chén)車間寶(bǎo)貴空(kōng)間(jiān)。

高粘(nián)度介質輸(shū)送(sòng)性能全係zui  優(yōu)

8mm 大(dà)柱(zhù)塞吸入截(jié)麵(miàn)積更大(dà)，5000cps 以(yǐ)上(shàng)高粘(nián)度(dù)光刻膠，環(huán)氧膠(jiāo)，高固漿料吸料順暢(chàng)，流(liú)量(liáng)衰減遠(yuǎn)小於(yú) 03/06。

長(cháng)期量產(chǎn)穩定性(xìng)更強，運維更少

同等輸(shū)出(chū)流量(liáng)下(xià)轉速(sù)更低，凸(tū)輪，柱塞，單向閥磨損(sǔn)速率(shuài)顯著(zhù)降低(dī)，產綫(xiàn)連續(xù)運行數月無需(xū)重新校(xiào)準，減(jiǎn)少(shǎo)停(tíng)機維(wéi)護頻(pín)次(cì)。

無脈(mài)動(dòng)潔淨(jìng)供液，適配gao端(duān)晶(jīng)圓量產標(biāo)準(zhǔn)

三重(zhòng)柱塞交替輸出無(wú)脈(mài)衝，管(guǎn)路無壓力衝(chōng)擊，不(bù)會(huì)產(chǎn)生微氣(qì)泡，杜絕晶圓針孔，膜厚(hòu)不(bù)良，提升(shēng)芯(xīn)片良率(shuài)。

全係(xì)列通用潔(jié)淨泵(bèng)頭(tóu)，兼(jiān)容半導(dǎo)體(tǐ)各類腐蝕(shí) / 高純(chún)介質(zhì)

可(kě)切(qiē)換(huàn)非(fēi)金(jīn)屬 PEEK/PTFE 泵頭(tóu)輸(shū)送光(guāng)敏，厭氧，無金(jīn)屬離(lí)子(zǐ)敏感(gǎn)化學品(pǐn)；哈(hā)氏合(hé)金適(shì)配強(qiáng)酸(suān)性(xìng)蝕(shí)刻鍍(dù)液；316 拋光適配清(qīng)洗，顯(xiǎn)影藥液。