通用基礎規格(gé)

1. 驅動(dòng)結構(gòu)：zhuan利六段(duàn)三(sān)重凸輪三柱(zhù)塞交替(tì)吸(xī)排
   ，脈(mài)動≤0.5%
   ，無需緩衝(chōng)罐(guàn)；

2. 流量(liáng)特性(xìng)：流量(liáng)與伺服轉(zhuǎn)速嚴格綫性
   ，不受出(chū)口壓力，介質粘度波(bō)動幹擾(rǎo)；

3. 機(jī)械(xiè)結構：柱塞強(qiáng)製(zhì)機(jī)械(xiè)回程(chéng)
   ，高(gāo)粘(nián)度(dù)漿料，膠液無(wú)吸(xī)料不足，丟(diū)量(liáng)問(wèn)題；

4. 接液材質(zhì)通用(yòng)可選(xuǎn)：電解拋(pāo)光(guāng) SUS316，哈氏(shì)合(hé)金，鈦(tài)材，全 PEEK/PTFE 非金屬(shǔ)無(wú)金(jīn)屬析(xī)出(chū)泵(bèng)頭；

5. 選配配(pèi)件：恒(héng)溫冷熱夾(jiā)套，氮氣吹(chuī)掃隔絕(jué)空氣，在綫(xiàn)清洗(xǐ)模塊(kuài)，伺服閉環(huán)控製係統；

6. 控製方式：4-20mA 模擬(nǐ)量，RS485 通訊(xùn)
   ，可直接(jiē)對接無塵車(chē)間 PLC 自(zì)動化係統。

HYM-08 專屬特(tè)點

1. 全(quán)係最(zuì)大單(dān)泵流量(liáng)
   ，覆(fù)蓋 60~108.6mL/min 量(liáng)產(chǎn)區間
   ，單(dān)台(tái)替(tì)代(dài)多台 HYM-03/06 並(bìng)聯(lián)
   ，簡(jiǎn)化(huà)管路與控(kòng)製(zhì)；

2. 8mm 大(dà)柱(zhù)塞截麵
   ，高粘度(dù)光刻(kè)膠(jiāo)，PI 聚(jù)酰亞(yà)胺，高(gāo)固含量漿(jiāng)料(liào)輸送吸料能(néng)力zui強；

3. 無 200bar 以上(shàng)高壓定(dìng)製版本
   ，僅適配 98bar 以內(nèi)中(zhōng)低(dī)壓量產(chǎn)工況；

4. 同等輸出(chū)流量(liáng)下電機轉速更(gēng)低(dī)
   ，凸(tū)輪，柱(zhù)塞，閥組磨(mó)損(sǔn)更(gēng)小
   ，長(cháng)期(qī) 24h 量(liáng)產校準周期更長；

5. 可選用(yòng)雙(shuāng)頭(tóu)款 HYM-W-08
   ，最大(dà)流量翻倍至 217.2mL/min
   ，適配寬幅卷對卷(juàn)連(lián)續產綫(xiàn)。

二(èr)，半(bàn)導體行業(yè)核心(xīn)應(yīng)用場(cháng)景（區別 03/06）

1. 8/12 寸晶(jīng)圓量(liáng)產狹(xiá)縫塗(tú)布（核(hé)心場景(jǐng)）

• 介質：高粘度(dù)光刻膠(jiāo)，PI 固化(huà)液，抗反(fǎn)射(shè)塗層 ARC，厚膜絕緣膠(jiāo)；

• 工(gōng)況(kuàng)：寬幅模頭連(lián)續 24h 供(gōng)液(yè)
  ，單(dān)路(lù)流(liú)量 60–100mL/min
  ，單泵獨立供給(gěi)整幅塗(tú)布模頭；

• 優(yōu)勢：無脈(mài)動消(xiāo)除(chú)整片晶圓(yuán)膜厚波浪條紋(wén)
  ，大柱(zhù)塞(sāi)高粘度(dù)輸送(sòng)不缺料
  ，批次(cì)膜(mó)厚(hòu)一致性大幅提升；

• 材(cái)質選型(xíng)：PEEK 泵(bèng)頭
  ，杜絕(jué)金(jīn)屬(shǔ)離子汙染(rǎn)晶(jīng)圓。

2. IC 載板(bǎn)，HDI 卷(juàn)對卷(juàn)量產濕製程

1. 濕(shī)膜光刻(kè)膠(jiāo)連續(xù)滾塗：卷對(duì)卷(juàn)高速產綫大流量(liáng)穩定供(gōng)膠
   ，避(bì)免(miǎn)板(bǎn)麵(miàn)厚薄(báo)不(bù)均；

2. 大容量蝕(shí)刻槽(cáo)，化學鍍(dù)槽(cáo)持續補液(yè)：氯(lǜ)化銅(tóng)蝕刻母液(yè)，沉鎳(niè)鈀(bǎ)金藥劑長(cháng)期自動補加(jiā)
   ，穩(wěn)定藥液(yè)濃度
   ，減(jiǎn)少(shǎo)停(tíng)機換(huàn)液；

3. 阻(zǔ)焊綠油量(liáng)產(chǎn)塗布：高粘度油墨(mò)穩(wěn)定輸送
   ，杜絕斷(duàn)塗(tú)，色(sè)差缺(quē)陷
   ，選(xuǎn)用(yòng) 316 拋光泵(bèng)頭(tóu)易(yì)清(qīng)洗(xǐ)。

3. 先進(jìn)封裝量(liáng)產(chǎn)工(gōng)藝

1. 大(dà)流量底(dǐ)填(tián)膠，環(huán)氧密封膠集中供膠係(xì)統：多(duō)芯片堆疊 WLCSP，大(dà)批(pī)量芯片(piàn)封裝(zhuāng)連(lián)續點(diǎn)膠(jiāo)供料；

2. 晶圓電鍍(dù)生(shēng)產(chǎn)綫大容(róng)量添加劑(jì)補給(gěi)：哈(hā)氏合(hé)金泵頭耐(nài)酸性(xìng)鍍(dù)液氯離子腐蝕(shí)
   ，穩(wěn)定鍍(dù)層均(jūn)匀性(xìng)。

4. 半(bàn)導體材(cái)料中試(shì)放大合(hé)成(chéng)

5. 麵(miàn)板配套量產塗(tú)布(bù)（LCD/OLED 彩膜，光學基(jī)板）

6. 其他工業(yè)量產場景