日本TEM-TECH騰(téng)泰(tài)克(kè)氣體麵板用壓(yā)力(lì)傳(chuán)感器HYPFZW-420TS3

日本TEM-TECH騰泰克氣體麵板用(yòng)壓力(lì)傳感(gǎn)器HYPFZW-420TS3

HYPFZW

集(jí)成型(xíng)氣體麵板用壓力(lì)傳(chuán)感器(qì)

高(gāo)精(jīng)度·對(duì)環(huán)境(jìng)變化具(jù)有(yǒu)高度(dù)穩定(dìng)性

接(jiē)觸(chù)氣(qì)體部為(wéi)麵向(xiàng)全(quán)SUS316L氣體麵板壓力(lì)傳(chuán)感器(qì)1g壓力:-0.1或(huò)

0~0.3.0.5.1MPa電(diàn)流(liú)/電(diàn)壓(yā)輸出，各種(zhǒng)集成尺(chǐ)寸(cùn)的(dí)C矽
，W矽接(jiē)觸(chù)

部:SUS316L

用於半導(dǎo)體(tǐ)製造裝(zhuāng)置(zhì)氣體麵板(bǎn)

產(chǎn)品介紹：

測定(dìng)流體(tǐ)

半導體(tǐ)工(gōng)藝氣體

接(jiē)氣部(bù)材質(zhì)

光(guāng)圈:SUS316L(VIM+VAR)傳感器單(dān)元(yuán):SUS316L

測定(dìng)範(fàn)囲(wéi)

0 (-0.1)-0.3
，0.5
，1MPa

許(xǔ)容(róng)限(xiàn)度(dù)壓(yā)力(lì)

定(dìng)格壓力x2倍

電源電壓

DC24V±10%

直(zhí)流15~24V

出力信號

4~20mADC(2裸(luǒ)式(shì))

0~5VDC
，1~5VDC
，0~10VDC(3綫(xiàn)式)

輪(lún)合精(jīng)度(dù)

~0.5%FS(直(zhí)綫性
，歇(xiē)斯底(dǐ)裏包括可(kě)再現性)

溫(wēn)度(dù)補(bǔ)償(cháng)範囲

0~溫(wēn)度(dù):不(bù)結(jié)冰(bīng)
，不結露(lòu)

動作溫度範囲

0~80度(dù)(無結(jié)冰
，無結露(lòu))

溫(wēn)度特性

+/-0.05%FS/度C(溫(wēn)度補(bǔ)償(cháng)範圍內)

保(bǎo)護(hù)等(děng)級(jí)

IP55相當(dāng)*室內(nèi)規格(gé)

安(ān)裝螺釘(dīng)

C矽(guī)
，W矽(guī)

螺釘尺寸

1.125"1.5(請咨(zī)詢(xún)其他)

電纜(lǎn)取出

可裝卸式(shì)多治見連接(jiē)器

附(fù)帶(dài)電纜

3m標準(zhǔn)(2芯(xīn)+屏蔽(bì)綫)

3m標準(3芯+屏蔽(bì)綫(xiàn))

密封方(fāng)法

特(tè)殊電子束焊接

泄漏量(liáng)

<5x10 12P/秒(miǎo)

內麵精(jīng)細(xì)度

Ra:<0.25μm以下(xià)

Model: HYPFZW

HYPFZW-420TS2

HYPFZW-420TS1

HYPFZW-420TS3

HYPFZW-420PS1

HYPFZW-420PS2

HYPFZW-420PS3

HYPFZW-420MS1

HYPFZW-420MS2

HYPFZW-420MS3

HYPFZW-105TS2

HYPFZW-105TS1