TEM-TECH用於(yú)集(jí)成(chéng)燃氣(qì)麵板(bǎn)的(dí)壓力傳感器HYPFZW-420PS2

TEM-TECH用於(yú)集成燃(rán)氣麵(miàn)板的(dí)壓力傳(chuán)感器HYPFZW-420PS2

HYPFZW

集成型氣體(tǐ)麵(miàn)板(bǎn)用(yòng)壓力傳感(gǎn)器(qì)

高精度·對(duì)環境(jìng)變(biàn)化具有(yǒu)高度(dù)穩(wěn)定性

接觸氣體(tǐ)部為(wéi)麵(miàn)向全SUS316L氣體麵(miàn)板壓力傳感(gǎn)器1g壓力(lì):-0.1或

0~0.3.0.5.1MPa電流/電壓(yā)輸(shū)出，各種集成(chéng)尺(chǐ)寸(cùn)的C矽，W矽接觸

部(bù):SUS316L

用於(yú)半(bàn)導體(tǐ)製造(zào)裝置氣體麵(miàn)板

產品介紹(shào)：

測定流體

半導體工(gōng)藝氣體(tǐ)

接(jiē)氣(qì)部材質

光圈:SUS316L(VIM+VAR)傳(chuán)感(gǎn)器單(dān)元:SUS316L

測定範(fàn)囲(wéi)

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許(xǔ)容(róng)限度(dù)壓(yā)力

定(dìng)格壓(yā)力(lì)x2倍

電源電(diàn)壓

DC24V±10%

直(zhí)流(liú)15~24V

出力信號(hào)

4~20mADC(2裸式)

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫(xiàn)式)

輪合(hé)精(jīng)度(dù)

~0.5%FS(直綫性，歇(xiē)斯(sī)底裏(lǐ)包括(kuò)可再(zài)現(xiàn)性)

溫度(dù)補償(cháng)範(fàn)囲

0~溫度(dù):不結冰，不結(jié)露

動作溫(wēn)度範(fàn)囲

0~80度(dù)(無(wú)結(jié)冰(bīng)，無結(jié)露)

溫(wēn)度(dù)特性(xìng)

+/-0.05%FS/度C(溫(wēn)度補償範(fàn)圍內)

保護等(děng)級(jí)

IP55相當*室內規(guī)格

安裝螺釘

C矽，W矽

螺釘尺寸

1.125"1.5(請咨詢(xún)其他(tā))

電纜取出(chū)

可(kě)裝卸式多治見(jiàn)連(lián)接(jiē)器(qì)

附(fù)帶電纜(lǎn)

3m標(biāo)準(2芯+屏(píng)蔽(bì)綫)

3m標準(3芯+屏(píng)蔽(bì)綫)

密封方法

特(tè)殊電子束焊接(jiē)

泄漏(lòu)量(liáng)

<5x10 12P/秒

內(nèi)麵(miàn)精(jīng)細(xì)度

Ra:<0.25μm以下

Model: HYPFZW

HYPFZW-420TS2

HYPFZW-420TS1

HYPFZW-420TS3

HYPFZW-420PS1

HYPFZW-420PS2

HYPFZW-420PS3

HYPFZW-420MS1

HYPFZW-420MS2

HYPFZW-420MS3

HYPFZW-105TS2

HYPFZW-105TS1