玉(yù)崎(qí)供應(yīng)日本(běn)TEM-TECH穩定性(xìng)好壓力(lì)傳(chuán)感(gǎn)器(qì)HYPFZW-105MS2

玉崎供(gōng)應(yīng)日本TEM-TECH穩定性好壓力傳感(gǎn)器HYPFZW-105MS2

HYPFZW

集(jí)成(chéng)型氣體麵(miàn)板(bǎn)用壓力(lì)傳感器(qì)

高精(jīng)度·對(duì)環境(jìng)變化具有高(gāo)度(dù)穩定性

接(jiē)觸(chù)氣體部(bù)為麵向全SUS316L氣體(tǐ)麵板壓力傳(chuán)感(gǎn)器(qì)1g壓(yā)力:-0.1或(huò)

0~0.3.0.5.1MPa電流(liú)/電壓輸出
，各(gè)種集成(chéng)尺(chǐ)寸的(dí)C矽(guī)，W矽接觸(chù)

部:SUS316L

用於半導(dǎo)體(tǐ)製造裝(zhuāng)置(zhì)氣體麵板

產品(pǐn)介紹(shào)：

測定流(liú)體

半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)工藝氣體

接(jiē)氣部材質

光(guāng)圈(quān):SUS316L(VIM+VAR)傳(chuán)感(gǎn)器單元:SUS316L

測(cè)定(dìng)範囲

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許(xǔ)容(róng)限度壓(yā)力

定(dìng)格壓力(lì)x2倍

電(diàn)源電壓

DC24V±10%

直流15~24V

出力信號

4~20mADC(2裸(luǒ)式(shì))

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫式(shì))

輪合精度

~0.5%FS(直綫性(xìng)，歇(xiē)斯底(dǐ)裏包括可再現性)

溫(wēn)度補償範(fàn)囲

0~溫度:不結(jié)冰，不結露(lòu)

動作(zuò)溫度範(fàn)囲

0~80度(無結冰(bīng)，無(wú)結露)

溫(wēn)度特性(xìng)

+/-0.05%FS/度C(溫度補償範(fàn)圍內(nèi))

保護(hù)等級

IP55相當(dāng)*室內(nèi)規格

安(ān)裝螺(luó)釘

C矽(guī)，W矽

螺釘(dīng)尺寸(cùn)

1.125"1.5(請(qǐng)咨(zī)詢(xún)其(qí)他)

電(diàn)纜取(qǔ)出(chū)

可裝卸式多治見連接器(qì)

附(fù)帶(dài)電纜

3m標(biāo)準(zhǔn)(2芯(xīn)+屏蔽(bì)綫(xiàn))

3m標準(3芯(xīn)+屏蔽(bì)綫)

密(mì)封(fēng)方(fāng)法

特殊電(diàn)子(zǐ)束(shù)焊(hàn)接

泄漏量(liáng)

<5x10 12P/秒

內麵精細度

Ra:<0.25μm以下

Model: HYPFZW

HYPFZW-420TS2

HYPFZW-420TS1

HYPFZW-420TS3

HYPFZW-420PS1

HYPFZW-420PS2

HYPFZW-420PS3

HYPFZW-420MS1

HYPFZW-420MS2

HYPFZW-420MS3

HYPFZW-105TS2

HYPFZW-105TS1