玉(yù)崎供應日(rì)本TEM-TECH穩定(dìng)性好(hǎo)壓(yā)力(lì)傳(chuán)感(gǎn)器HYPFZW-010TS2

玉(yù)崎供(gōng)應日本(běn)TEM-TECH穩(wěn)定性好(hǎo)壓力傳感(gǎn)器HYPFZW-010TS2

HYPFZW

集成型氣體麵(miàn)板用壓力傳感(gǎn)器

高精度·對(duì)環境變(biàn)化(huà)具有高度穩定性

接觸氣體(tǐ)部為(wéi)麵向全SUS316L氣體麵板(bǎn)壓力傳感器(qì)1g壓力(lì):-0.1或(huò)

0~0.3.0.5.1MPa電(diàn)流/電壓輸(shū)出
，各(gè)種集成(chéng)尺(chǐ)寸(cùn)的(dí)C矽(guī)，W矽(guī)接(jiē)觸

部:SUS316L

用(yòng)於(yú)半導體製(zhì)造(zào)裝置(zhì)氣(qì)體麵(miàn)板(bǎn)

產品介(jiè)紹(shào)：

測(cè)定流體

半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)工藝氣體(tǐ)

接氣(qì)部材質

光(guāng)圈(quān):SUS316L(VIM+VAR)傳(chuán)感器(qì)單元:SUS316L

測定範(fàn)囲(wéi)

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許容限(xiàn)度壓(yā)力

定格(gé)壓力(lì)x2倍(bèi)

電源電(diàn)壓(yā)

DC24V±10%

直流15~24V

出力(lì)信(xìn)號(hào)

4~20mADC(2裸式)

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫(xiàn)式)

輪合精度

~0.5%FS(直綫(xiàn)性，歇(xiē)斯(sī)底(dǐ)裏包(bāo)括可(kě)再現(xiàn)性)

溫度補償範囲(wéi)

0~溫度:不(bù)結冰(bīng)，不結(jié)露

動作(zuò)溫度範囲(wéi)

0~80度(無結冰(bīng)，無結露)

溫度特(tè)性(xìng)

+/-0.05%FS/度C(溫度補償(cháng)範(fàn)圍內)

保(bǎo)護等級(jí)

IP55相(xiāng)當*室內(nèi)規格(gé)

安裝螺(luó)釘

C矽(guī)，W矽(guī)

螺釘尺寸

1.125"1.5(請咨(zī)詢其(qí)他(tā))

電(diàn)纜(lǎn)取出(chū)

可(kě)裝(zhuāng)卸式多治見(jiàn)連(lián)接器(qì)

附帶(dài)電纜

3m標(biāo)準(2芯+屏(píng)蔽綫(xiàn))

3m標準(zhǔn)(3芯(xīn)+屏蔽(bì)綫)

密封(fēng)方(fāng)法

特殊(shū)電子束焊(hàn)接

泄(xiè)漏量(liáng)

<5x10 12P/秒

內麵(miàn)精(jīng)細度(dù)

Ra:<0.25μm以下(xià)

Model: HYPFZW

HYPFZW-420TS2

HYPFZW-420TS1

HYPFZW-420TS3

HYPFZW-420PS1

HYPFZW-420PS2

HYPFZW-420PS3

HYPFZW-420MS1

HYPFZW-420MS2

HYPFZW-420MS3

HYPFZW-105TS2

HYPFZW-105TS1