日(rì)本TEM-TECH壓(yā)力(lì)傳(chuán)感器(qì)半導體(tǐ)製(zhì)造(zào)設備用(yòng)HYPFZW-010TS3

日(rì)本TEM-TECH壓力傳(chuán)感器(qì)半(bàn)導體製造(zào)設備用HYPFZW-010TS3

HYPFZW

集成型(xíng)氣體(tǐ)麵板用壓力(lì)傳感器

高精(jīng)度(dù)·對(duì)環境變化具(jù)有高度(dù)穩(wěn)定性(xìng)

接觸(chù)氣體部為(wéi)麵向全(quán)SUS316L氣(qì)體麵板(bǎn)壓力(lì)傳(chuán)感器1g壓力:-0.1或

0~0.3.0.5.1MPa電(diàn)流/電(diàn)壓輸出
，各種(zhǒng)集成(chéng)尺寸(cùn)的(dí)C矽(guī)，W矽接觸

部:SUS316L

用於半導體製(zhì)造裝(zhuāng)置氣體麵(miàn)板(bǎn)

產(chǎn)品介紹(shào)：

測定(dìng)流(liú)體(tǐ)

半導體(tǐ)工藝(yì)氣體(tǐ)

接氣(qì)部材(cái)質

光(guāng)圈(quān):SUS316L(VIM+VAR)傳感(gǎn)器單元:SUS316L

測定(dìng)範(fàn)囲

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許(xǔ)容限度(dù)壓(yā)力

定格(gé)壓力(lì)x2倍

電源(yuán)電壓(yā)

DC24V±10%

直(zhí)流15~24V

出(chū)力信號

4~20mADC(2裸式(shì))

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫式(shì))

輪(lún)合精(jīng)度(dù)

~0.5%FS(直綫性，歇斯底(dǐ)裏(lǐ)包括(kuò)可再現(xiàn)性)

溫(wēn)度補償範囲

0~溫度(dù):不(bù)結冰(bīng)，不結露

動(dòng)作溫(wēn)度(dù)範囲(wéi)

0~80度(dù)(無(wú)結冰(bīng)，無結露)

溫度(dù)特性

+/-0.05%FS/度C(溫度補償範圍內)

保護等(děng)級(jí)

IP55相當*室(shì)內規(guī)格

安(ān)裝(zhuāng)螺釘

C矽，W矽(guī)

螺(luó)釘(dīng)尺寸

1.125"1.5(請咨詢其他(tā))

電纜(lǎn)取出(chū)

可裝卸(xiè)式多治(zhì)見連接(jiē)器(qì)

附(fù)帶電(diàn)纜(lǎn)

3m標準(2芯(xīn)+屏(píng)蔽綫)

3m標準(zhǔn)(3芯(xīn)+屏蔽綫)

密封方法(fǎ)

特殊電(diàn)子(zǐ)束(shù)焊接

泄(xiè)漏量

<5x10 12P/秒

內(nèi)麵精細度

Ra:<0.25μm以(yǐ)下(xià)

Model: HYPFZW

HYPFZW-420TS2

HYPFZW-420TS1

HYPFZW-420TS3

HYPFZW-420PS1

HYPFZW-420PS2

HYPFZW-420PS3

HYPFZW-420MS1

HYPFZW-420MS2

HYPFZW-420MS3

HYPFZW-105TS2

HYPFZW-105TS1