日本(běn)TEM-TECH壓力(lì)傳(chuán)感(gǎn)器半(bàn)導(dǎo)體製造設(shè)備(bèi)用HYPFZW-010TS1

日(rì)本TEM-TECH壓(yā)力傳(chuán)感(gǎn)器(qì)半(bàn)導體(tǐ)製造設(shè)備用HYPFZW-010TS1

HYPFZW

集(jí)成(chéng)型氣體麵(miàn)板(bǎn)用壓力傳感器

高精(jīng)度(dù)·對(duì)環境變化(huà)具有(yǒu)高度穩定性

接觸(chù)氣體(tǐ)部為麵向全(quán)SUS316L氣體麵板(bǎn)壓力(lì)傳感(gǎn)器(qì)1g壓(yā)力(lì):-0.1或(huò)

0~0.3.0.5.1MPa電流(liú)/電(diàn)壓輸出，各(gè)種集(jí)成(chéng)尺(chǐ)寸(cùn)的C矽，W矽接觸

部:SUS316L

用(yòng)於(yú)半導體製(zhì)造裝置氣體麵板

產(chǎn)品介紹(shào)：

測定流(liú)體

半導體工(gōng)藝(yì)氣(qì)體

接氣部材質(zhì)

光圈:SUS316L(VIM+VAR)傳感器(qì)單元(yuán):SUS316L

測(cè)定範囲

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許(xǔ)容(róng)限度壓力

定(dìng)格壓力(lì)x2倍

電(diàn)源(yuán)電(diàn)壓

DC24V±10%

直流15~24V

出力(lì)信號(hào)

4~20mADC(2裸式(shì))

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫式)

輪(lún)合精(jīng)度

~0.5%FS(直(zhí)綫(xiàn)性，歇斯底(dǐ)裏包括可(kě)再(zài)現(xiàn)性(xìng))

溫(wēn)度補償(cháng)範囲(wéi)

0~溫度(dù):不結(jié)冰，不(bù)結露(lòu)

動(dòng)作(zuò)溫度範囲

0~80度(無結(jié)冰(bīng)，無結(jié)露(lòu))

溫(wēn)度特性

+/-0.05%FS/度C(溫(wēn)度(dù)補償範(fàn)圍(wéi)內(nèi))

保護(hù)等(děng)級(jí)

IP55相當*室(shì)內(nèi)規格

安裝螺釘

C矽，W矽(guī)

螺釘尺(chǐ)寸

1.125"1.5(請咨(zī)詢其他)

電纜取出

可裝卸(xiè)式(shì)多(duō)治(zhì)見(jiàn)連(lián)接器(qì)

附(fù)帶(dài)電(diàn)纜

3m標準(2芯+屏(píng)蔽綫(xiàn))

3m標準(3芯+屏蔽綫)

密封方(fāng)法(fǎ)

特殊電子束(shù)焊接(jiē)

泄漏量

<5x10 12P/秒(miǎo)

內麵精(jīng)細度

Ra:<0.25μm以下

Model: HYPFZW

HYPFZW-420TS2

HYPFZW-420TS1

HYPFZW-420TS3

HYPFZW-420PS1

HYPFZW-420PS2

HYPFZW-420PS3

HYPFZW-420MS1

HYPFZW-420MS2

HYPFZW-420MS3

HYPFZW-105TS2

HYPFZW-105TS1