日本(běn)TEM-TECH壓力傳感(gǎn)器HYPFZI-420TS2

日(rì)本(běn)TEM-TECH壓力傳感器HYPFZI-420TS2

HYPFZW

集成型(xíng)氣(qì)體(tǐ)麵板(bǎn)用(yòng)壓力傳感(gǎn)器

高精度(dù)·對環(huán)境變化(huà)具(jù)有高度(dù)穩(wěn)定(dìng)性(xìng)

接(jiē)觸氣體(tǐ)部為麵向全(quán)SUS316L氣體麵(miàn)板(bǎn)壓力(lì)傳感器(qì)1g壓力:-0.1或(huò)

0~0.3.0.5.1MPa電流/電(diàn)壓(yā)輸(shū)出
，各(gè)種集(jí)成尺寸的(dí)C矽(guī)，W矽(guī)接觸

部(bù):SUS316L

用於半導(dǎo)體製造(zào)裝置(zhì)氣(qì)體(tǐ)麵(miàn)板(bǎn)

產(chǎn)品(pǐn)介(jiè)紹(shào)
：

測定流體

半導體工藝氣體

接(jiē)氣部材質(zhì)

光(guāng)圈:SUS316L(VIM+VAR)傳感器單(dān)元:SUS316L

測(cè)定(dìng)範(fàn)囲(wéi)

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許容(róng)限(xiàn)度(dù)壓(yā)力

定(dìng)格壓(yā)力x2倍

電源電壓(yā)

DC24V±10%

直流15~24V

出力(lì)信號(hào)

4~20mADC(2裸式)

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫式)

輪合精(jīng)度

~0.5%FS(直綫(xiàn)性(xìng)，歇斯(sī)底裏包括(kuò)可(kě)再現(xiàn)性)

溫度(dù)補償範囲

0~溫度(dù):不(bù)結(jié)冰(bīng)，不(bù)結露

動作(zuò)溫度(dù)範囲

0~80度(無(wú)結(jié)冰(bīng)，無結(jié)露)

溫度特性

+/-0.05%FS/度(dù)C(溫度補(bǔ)償範圍(wéi)內(nèi))

保護(hù)等(děng)級

IP55相當*室內(nèi)規格

安裝螺釘

C矽，W矽

螺釘尺(chǐ)寸

1.125"1.5(請咨(zī)詢(xún)其他)

電纜取出

可裝(zhuāng)卸式(shì)多(duō)治見連接(jiē)器

附帶電(diàn)纜

3m標準(zhǔn)(2芯(xīn)+屏(píng)蔽綫)

3m標準(3芯(xīn)+屏蔽(bì)綫(xiàn))

密(mì)封方(fāng)法(fǎ)

特(tè)殊(shū)電子(zǐ)束(shù)焊接(jiē)

泄(xiè)漏(lòu)量(liáng)

<5x10 12P/秒(miǎo)

內麵(miàn)精(jīng)細度(dù)

Ra:<0.25μm以下

HYPFZI-420TS2

HYPFZI-420TS1

HYPFZI-420TS3

HYPFZI-420PS1

HYPFZI-420PS2

HYPFZI-420PS3

HYPFZI-420MS1

HYPFZI-420MS2

HYPFZI-420MS3

HYPFZI-105TS2

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HYPFZI-105TS3

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HYPFZI-010TS2

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