日本TEM-TECH壓力傳感器HYPFZI-010TS1

日(rì)本(běn)TEM-TECH壓力傳感器(qì)HYPFZI-010TS1

HYPFZW

集成型氣體麵板用(yòng)壓力傳(chuán)感(gǎn)器

高精度·對(duì)環(huán)境變化具有高(gāo)度(dù)穩定性

接觸氣體(tǐ)部(bù)為麵(miàn)向(xiàng)全(quán)SUS316L氣體(tǐ)麵板壓(yā)力傳感器(qì)1g壓(yā)力(lì):-0.1或(huò)

0~0.3.0.5.1MPa電(diàn)流/電(diàn)壓(yā)輸(shū)出，各種集成尺寸(cùn)的C矽(guī)，W矽(guī)接(jiē)觸(chù)

部:SUS316L

用於(yú)半導體(tǐ)製造裝置氣(qì)體麵板

產品介(jiè)紹：

測定(dìng)流(liú)體

半導(dǎo)體工藝(yì)氣體

接(jiē)氣(qì)部材質(zhì)

光圈:SUS316L(VIM+VAR)傳(chuán)感(gǎn)器(qì)單元:SUS316L

測(cè)定(dìng)範囲(wéi)

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許(xǔ)容限度壓(yā)力(lì)

定格壓(yā)力(lì)x2倍

電(diàn)源電(diàn)壓

DC24V±10%

直流15~24V

出力信號

4~20mADC(2裸式(shì))

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫式)

輪(lún)合精(jīng)度

~0.5%FS(直綫性，歇(xiē)斯(sī)底(dǐ)裏包括(kuò)可(kě)再現(xiàn)性)

溫度補償(cháng)範(fàn)囲

0~溫(wēn)度:不結冰(bīng)，不結(jié)露(lòu)

動(dòng)作溫度(dù)範囲(wéi)

0~80度(無結冰(bīng)，無(wú)結露)

溫度特性(xìng)

+/-0.05%FS/度(dù)C(溫度補(bǔ)償範圍內)

保(bǎo)護(hù)等(děng)級(jí)

IP55相(xiāng)當(dāng)*室內(nèi)規(guī)格

安裝(zhuāng)螺(luó)釘

C矽，W矽(guī)

螺(luó)釘(dīng)尺寸

1.125"1.5(請(qǐng)咨詢(xún)其他(tā))

電纜取(qǔ)出(chū)

可(kě)裝卸(xiè)式多(duō)治見連接器

附(fù)帶電纜

3m標準(zhǔn)(2芯+屏(píng)蔽(bì)綫)

3m標準(zhǔn)(3芯(xīn)+屏蔽綫)

密封方(fāng)法

特殊電子(zǐ)束(shù)焊接(jiē)

泄(xiè)漏量

<5x10 12P/秒(miǎo)

內麵(miàn)精細度

Ra:<0.25μm以下(xià)

Model: HYPFZW

HYPFZI-420TS2

HYPFZI-420TS1

HYPFZI-420TS3

HYPFZI-420PS1

HYPFZI-420PS2

HYPFZI-420PS3

HYPFZI-420MS1

HYPFZI-420MS2

HYPFZI-420MS3

HYPFZI-105TS2

HYPFZI-105TS1

HYPFZI-105TS3

HYPFZI-105PS1

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HYPFZI-105MS1

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HYPFZI-010TS2

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